2022/10/08
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雖然疫情影響了整個地球村，但也沒能阻擋咱“大白"的腳步，飛越了半個地球，終于入駐西安771研究所啦！祝賀~
首先來給大家隆重介紹一下： “大白"是NANO-MASTER設(shè)計生產(chǎn)的LSC-5000型雙系統(tǒng)全自動無損兆聲單晶圓FSI清洗及刻蝕清洗機（背面多晶去除），她集成了2個Cassette的機械手全自動上下片功能、去離子水清洗、兆聲清洗 、化學(xué)液清洗、PVA軟刷清洗、遠(yuǎn)程自動加液、氮氣甩干及紅外燈烘干等功能于一身的干進(jìn)干出一體化系統(tǒng)。
下面來具體說說，集功能、智慧、美貌于一身的“大白"有哪些顯著優(yōu)勢
兆聲清洗能力：采用均勻兆聲能量沉積。射頻電源提供兆聲能量，可以刻蝕清洗各種殘留物、有機無機污染物、微塵顆粒、以及多晶去除等，可以支持0.18um~0.13um的IC工藝應(yīng)用。兆聲能量通過脈沖噴嘴傳遞到晶圓上，并通過化學(xué)液手臂徑向擺動，實現(xiàn)均勻的兆聲能量傳輸。另外，NANO-MASTER無損保證，在損傷閾值上的大能量均勻分布于晶圓表面，并實現(xiàn)無損清洗，真是太棒了！
化學(xué)液手臂
化學(xué)液類型及遠(yuǎn)程自動加液：LSC-5000可支持有機溶劑：HNO3，HF，NH4OH， H2O2，HCl 等，當(dāng)然也可以根據(jù)用戶需要進(jìn)行配置哦，可包含*酸強堿等。遠(yuǎn)程加液槽還能實現(xiàn)不同試劑按照不同比例混合、化學(xué)液濃度監(jiān)控、及化學(xué)液加熱（可加熱到70°±2℃）等功能呢！遠(yuǎn)程控制加液槽配套兆聲流量計、氣動閥門和液位傳感器，可以實現(xiàn)遠(yuǎn)程全自動沖洗和加液。另外還有個貼心的小設(shè)計——化學(xué)液的分配噴嘴配套回吸閥，可以防止液體滴漏。不得不說，NANO-MASTER的設(shè)計實在太暖又太有實力了，可以省好多人力呢！
PVA刷子清洗：作為一名專業(yè)的晶圓清洗機，刷子的作用當(dāng)然也是不容小覷的，“大白"擁有的是PVA超軟無損刷，支持旋轉(zhuǎn)清洗，轉(zhuǎn)速可達(dá)400RPM哦！PVA刷子可以清潔晶圓上的污點，同時它還具有自潔能力，所清洗的污染物不會黏附在PVA刷上。在清洗機休息時，還能實現(xiàn)去離子水定時濕潤。保證讓你在使用“大白"時沒有一點后顧之憂~
干燥甩干：晶圓清洗完后顆?；馗苍趺崔k？“大白"可以實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)甩干，轉(zhuǎn)速可達(dá)2000RPM，另外還可實現(xiàn)全自動紅外燈加熱、氮氣吹掃DIW等。
機械手自動上下片：“大白"的亮點之一，是她包含2個Cassette的機械手全自動上下載片功能，其中一個用于待刻蝕清洗的晶圓，另一個用于已處理完成的晶圓。機械手臂完成工藝后可以準(zhǔn)確回歸到起始位置，且與刻蝕手臂擁有碰撞互鎖功能。
自動機械臂
友好的控制系統(tǒng)：整個上下片功能、清洗工藝、遠(yuǎn)程加液系統(tǒng)均通過計算機全自動控制，具有高度的可重復(fù)性。配套Labview軟件，可以提供友好的操作界面，系統(tǒng)支持不限數(shù)量的菜單，每一個菜單可以支持1-100個工藝步驟，可以提供大的工藝彈性。同時，系統(tǒng)提供三級密碼保護(hù)的用戶訪問權(quán)限，可以實現(xiàn)不同的分級應(yīng)用。
控制屏幕
外觀體型：這次為771量身定制的“大白"在體型上分為4大模塊：單晶圓FSI清洗系統(tǒng)、兆聲刻蝕及清洗系統(tǒng)（背面多晶去除）、機械手全自動上下片、遠(yuǎn)程自動加液系統(tǒng)。這么多高大上的配置，這么豐富的功能，而“大白"的占地面積卻不足15平米！不足15平米！這對實驗室面積原本就很局促的大學(xué)、研究院而言，簡直就是福音啊！這樣緊湊精致的設(shè)計實在集合了NANO-MASTER很多工程師的智慧呢！另外大白的骨架為不銹鋼304材料，骨架外包采用防腐蝕的PVC材質(zhì)。所有的液體氣體管路等都采用防酸防腐蝕材料，保證您用的放心。
設(shè)備外觀示意圖
應(yīng)用廣泛：NANO-MASTER設(shè)計的LSC-5000型全自動晶圓清洗機應(yīng)用實在廣泛，可實現(xiàn)以下清洗、剝離、去膠、顯影、刻蝕等：
?硅晶片清洗及背面多晶去除
?藍(lán)寶石晶片
?FSI 清洗
?晶片框架上的芯片
?顯示面板
?ITO 涂覆的顯示屏
?帶圖案/不帶圖案的掩模版
?掩模版基板
?帶保護(hù)膜的分劃版
?接觸式掩模版
盡管提出您的需求，NANO-MASTER專業(yè)的工程師可根據(jù)用戶的需求特別定制！我們竭力為您提供專業(yè)、滿意、周到的產(chǎn)品和技術(shù)服務(wù)哦！
