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納米壓印系統(tǒng),針對(duì)大學(xué)實(shí)驗(yàn)室、研究所微納米加工研究設(shè)計(jì),配備溫度控制和低壓控制系統(tǒng),使用方便,性能穩(wěn)定可靠;同時(shí)配合專業(yè)設(shè)計(jì)的壓印模板,可實(shí)現(xiàn)各種微納米圖形加工,特征線寬小于20nm;
納米壓印系統(tǒng)
應(yīng)用領(lǐng)域:
光學(xué)器件,顯示器,數(shù)據(jù)存儲(chǔ),生物技術(shù),半導(dǎo)體芯片,化學(xué)合成,新型材料等
技術(shù)性能:
*操作方便
*可升級(jí)功能
*客戶可根據(jù)需求定制設(shè)備功能
*用戶通過觸摸屏來程序化控制處理過程;
*用戶可自主設(shè)定工藝參數(shù);
*真空吸附模板和Wafer
*具備UV固化功能
*Wafer尺寸:4英寸;
*壓印尺寸:2英寸;
*壓印壓力:0~25PSI(可升級(jí)到大100PSI)
*模板尺寸:5×0.09英寸
*典型壓印時(shí)間:小于5分鐘/wafer
巨力光電(北京)科技有限公司
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