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GL8 CLIV Gen2高精度紫外納米壓印光刻設(shè)備

2025-04-17

產(chǎn)      地:
暫無
所在地區(qū):
山東青島市
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GL8 CLIV Gen2高精度紫外納米壓印光刻設(shè)備是天仁微納新型全幅高精度紫外納米壓印設(shè)備,標配天仁微納CLIV(Contact Litho in Vacuum)壓印技術(shù),可實現(xiàn)200mm基底面積上高精度(優(yōu)于10nm )、高深寬比(優(yōu)于10比1 )納米結(jié)構(gòu)復(fù)制量產(chǎn)。

GL8 CLIV Gen2 & GL12 CLIV Gen2 2inch/100/150/200mm  & 2inch/100/150/200/300mm是天仁微納新型全幅高精度紫外納米壓印設(shè)備,可實現(xiàn)200/300mm基底面積上高精度(優(yōu)于10nm )、高深寬比(優(yōu)于10比1 )納米結(jié)構(gòu)復(fù)制量產(chǎn)。
該設(shè)備支持自動復(fù)制柔性復(fù)合工作模具,工作模具具有精度高,壽命長等特點,可以顯著降低大面積納米壓印工藝中模具使用成本。保證了大面積納米壓印過程中結(jié)構(gòu)精度與高深寬比結(jié)構(gòu)的完整填充,同時保證了大面積結(jié)構(gòu)壓印均勻性。
GL8/12 CLIV納米壓印設(shè)備適用于DOE、AR/VR衍射光波導(dǎo)(包括斜齒光柵)、生物芯片、LED、微透鏡陣列等應(yīng)用領(lǐng)域的量產(chǎn)。

GL8 CLIV Gen2高精度紫外納米壓印光刻設(shè)備主要功能

● 經(jīng)過量產(chǎn)驗證的200mm大面積、高精度、高深寬比納米壓印

● CLIV技術(shù),確保壓印結(jié)構(gòu)精度與結(jié)構(gòu)填充完整性

● 設(shè)備內(nèi)自動復(fù)制柔性復(fù)合工作模具,降低大面積納米壓印模具使用成本

● 自動對位、自動壓印、自動曝光固化、自動脫模,工藝過程無需人工干預(yù)

● 標配高功率紫外LED面光源(365nm,光強>1000mW/cm2 ),水冷冷卻,特殊功率以及特殊、混合波長光源可訂制,支持各種商用納米壓印材料

● 標配設(shè)備內(nèi)部潔凈環(huán)境與除靜電裝置

● 隨機提供全套納米壓印工藝與材料,包括DOE、AR斜齒光柵、高密度、高深寬比結(jié)構(gòu)等工藝流程,幫助客戶零門檻達到高質(zhì)量的納米壓印水平


相關(guān)參數(shù)

兼容基底尺寸2inch、100mm、150mm、200mm
特殊尺寸可定制
支持基底材料硅片、玻璃、石英、塑料、金屬等
上下片方式手動上下片
晶圓預(yù)對位機械夾持預(yù)對位,可選裝光學(xué)巡邊預(yù)對位
納米壓印技術(shù)CLIV技術(shù),適合高精度、高深寬比納米結(jié)構(gòu)壓印
壓印精度優(yōu)于10納米*
結(jié)構(gòu)深寬比優(yōu)于10比1*
殘余層控制可小于10nm*
紫外固化光源紫外LED(365nm)面光源,光強>1000mW/cm2,水冷冷卻(2000mW/cm2類型光源可選配)
設(shè)備內(nèi)部環(huán)境控制標配,外部環(huán)境class 100,內(nèi)部環(huán)境優(yōu)于Class 10*
自動壓印支持
自動脫模支持
自動工作模具復(fù)制支持
模具基底對位功能自動對位(選配)


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