● 全自動(dòng)150/300mm大面積、高精度、高深寬比納米壓印生產(chǎn)線

●CLIV技術(shù)，確保壓印結(jié)構(gòu)精度與結(jié)構(gòu)填充完整性

●Cassette to cassette自動(dòng)上下片，光學(xué)巡邊預(yù)對(duì)位

●設(shè)備內(nèi)自動(dòng)復(fù)制柔性復(fù)合工作模具，同時(shí)支持自動(dòng)更換工作模具，適合連續(xù)生產(chǎn)

●自動(dòng)對(duì)位、自動(dòng)壓印、自動(dòng)曝光固化、自動(dòng)脫模，工藝過(guò)程在密閉潔凈環(huán)境中自動(dòng)進(jìn)行，以保證壓印質(zhì)量

●標(biāo)配高功率紫外LED面光源（365nm，光強(qiáng)>1000mW/cm2 ），水冷冷卻，特殊功率以及特殊、混合波長(zhǎng)光源可訂制，支持各種商用納米壓印材料

●產(chǎn)能可大于40片每小時(shí)，適合DOE、AR/VR衍射光波導(dǎo)（包括斜齒光柵）、線光柵偏振、超透鏡、生物芯片、LED、微透鏡陣列等應(yīng)用領(lǐng)域的量產(chǎn)

●隨機(jī)提供全套納米壓印工藝與材料，包括DOE、AR斜齒光柵、高密度、高深寬比結(jié)構(gòu)等工藝流程，幫助客戶零門檻達(dá)到國(guó)際的納米壓印水平