NIE-3500(R)RIBE反應離子束刻蝕:可以用于光柵刻蝕,SiO2二氧化硅、Si 硅以及金屬等的深槽刻蝕。此外,還可以用于表面清洗、表面處理、離子銑。系統(tǒng)...
NIE-4000IBE離子束刻蝕系統(tǒng):如銅和金等金屬不含揮發(fā)性化合物,這些金屬的刻蝕無法在RIE系統(tǒng)中完成。然而通過加速的Ar離子進行物理刻蝕則是可能的。通常情...
NSC-4000Sputter磁控濺射鍍膜機:*進的全自動濺射系統(tǒng)帶有水冷或者加熱(可加熱至700度)功能;8“旋轉樣平臺,可支持到3個偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套...
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