熱真空系統(tǒng)具有計算機控制、安全連鎖，以及多級密碼授權(quán)訪問保護的功能。熱真空系統(tǒng)可以用于超過24小時的圈子全自動熱、冷循環(huán)情況下測試器件/樣品，溫度條件通過程序定義。該系統(tǒng)zui通常的應(yīng)用之一是太空模擬。
熱真空系統(tǒng)腔體的大致尺寸為：直徑24"，長度43"。帶有一個16"x32"的滑動加熱平，可以冷卻到零下100攝氏度。熱真空平臺也可以加熱到150攝氏度，具有高度的均勻度。在去邊3cm后整個平臺的溫度均勻度可達 /-1攝氏度。加熱平臺安裝在滾軸上，可以方便拉出zui大到75%的長度，腔體提供20個RF連接頭，尺寸為2.92mm，可以支持高達40GHz的頻率。腔體的兩側(cè)分別有一個50針的引線。真空系統(tǒng)包含HiPace1200（1000 L/s抽速）渦輪分子泵以及一個ISP500干泵，系統(tǒng)的極限真空可達7x10-8Torr，20分鐘內(nèi)可達到10-6Torr級別。 另外，我們可以根據(jù)客戶需要提供定制的引線、額外的儀器法蘭以及真空泵升級等。
熱真空系統(tǒng)特點：
Controllable uniform heat and cold cycle conditions 可控的均勻加熱行業(yè)冷卻循環(huán)條件
Computer controlled 計算機控制
Safety interlocks 完整的安全聯(lián)鎖
Multiple levels of access with password restrictions 4級密碼訪問保護
Chamber size is 43” in length and 24” in diameter 腔體尺寸43”長，24”直徑
Sliding thermal platform of 16” x 32” cooled to -1000C 滑動式加熱平臺的面積為16”x32”，可冷卻到-1000C
Thermal platform can also be heated to 1500C with 3 cm exclusion zone around the edges achieving the uniformity of ±10C throughout the platform
熱平臺可加熱到1500C，去邊3cm后平臺的熱均勻度可達±10C
Thermal platform is mounted on rolls so that it can be pulled out to 75% of its length for loading devices/samples 熱平臺安裝在滾動軸上，可以拉出總長度的75%，便于器件/樣片放置取出
Chamber has a provision of 20 RF connectors 2.92mm size which can hold up to 40 GHz of frequency 腔體提供20個RF連接器，尺寸為2.92mm，可以支持到40GHz的頻率
Two 50 pin DC feedthroughs are also provided on either sides of the chamber 提供2個50 pin的DC直流引線，分別位于腔體的兩端
Vacuum system consists of turbo molecular pump and dry scroll pump 真空系統(tǒng)包含渦輪分子泵和干泵
Base pressure 7 x 10-8 Torr, 10-6 Torr range in less than 20 minutes 極限真空7x10-8Torr，20分鐘以內(nèi)可以達到10-6Torr級別
Custom feedthroughs 可根據(jù)客戶需要提供引線定制方案
Additional instrumentation flanges and pump upgrades can be done upon request 可根據(jù)用戶需要提供額外的儀器法蘭及真空泵升級
