HX50N系列半自動探針臺適用于4英寸、5英寸晶圓，包含二極管，三極管，MOSFET管、垂直結(jié)構(gòu)芯片之測量，特別適合于翹曲晶圓和高壓芯片測試，可選配多針測試功能，可實現(xiàn)多顆同時測量之要求，提高機器的測試產(chǎn)能。

軟件功能介紹：
1.可測試圓片，測試范圍可選，支持隔行抽測和環(huán)形測試，MAP圖可以編輯測試；
2.支持壞點重測；
3.具備離線打點、同步打點功能；
4.具備接觸緩沖功能，針痕穩(wěn)定；
5.運行精度補償功能，保證測試的穩(wěn)定性；
6.測試良率、總數(shù)、速度顯示；
7.CCD圖像自動對準定位；
8.設(shè)備具備一定的抗干擾能力，支持高低溫測試，運行穩(wěn)定；
9.多BIN分類測試，測試數(shù)據(jù)可以存儲，可以導(dǎo)出，兼容后道設(shè)備格式使用，具有數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析功能；
10.操作員，管理員，系統(tǒng)廠家權(quán)限管理功能；

參數(shù)和指標：