PSV系列 室溫真空探針臺(tái)
- 公司名稱(chēng) 上?？滤纯萍加邢薰?/a>
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- 更新時(shí)間 2025/6/17 13:53:58
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室溫探針臺(tái)、低溫探針臺(tái)、全自動(dòng)探針臺(tái)、半自動(dòng)探針臺(tái)、科研超導(dǎo)磁體系統(tǒng)、液氦&液氮低溫恒溫器、閉循環(huán)低溫恒溫器、霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)、三維磁場(chǎng)測(cè)試平臺(tái)、溫控儀等產(chǎn)品。
PSV系列室溫真空探針臺(tái)，可對(duì)樣品進(jìn)行穩(wěn)定的非破壞性表征。PSV系列室溫真空探針臺(tái)可選配高溫樣品座，升級(jí)成高溫真空探針臺(tái)。高溫測(cè)試時(shí)，通過(guò)溫控儀的PID閉環(huán)回路實(shí)現(xiàn)精確控溫，溫度范圍：室溫-800K（500K可選）；通過(guò)外接不同的電學(xué)測(cè)量?jī)x器，可在室溫真空和高溫真空環(huán)境下完成材料、器件的IV、CV、光以及微波等參數(shù)的電學(xué)測(cè)試。PSV系列真空探針臺(tái)是的一款性能非常優(yōu)秀的可變溫探針臺(tái)，它可以幫助科研人員深入探究材料或器件的各項(xiàng)物理與電學(xué)性能，為新材料的研發(fā)和應(yīng)用提供關(guān)鍵的數(shù)據(jù)保證。
特點(diǎn)
• 真空腔極限真空度能夠達(dá)到~10-4Torr。
• 真空腔材質(zhì)為鋁制材料，能夠有效減小外界的電磁干擾提高測(cè)試的精準(zhǔn)度和穩(wěn)定性。
• 探針臂的位移調(diào)節(jié)在真空腔外操作，可以在不破壞真空的情況下，切換樣品上的不同器件進(jìn)行測(cè)試。
• 探針臂 X-Y-Z-R四維調(diào)節(jié)，能滿足2英寸樣品的測(cè)試。
• 標(biāo)配四個(gè)直流探臂，最多可安裝六個(gè)探針臂，可以選配：微波探針臂、光纖探針臂、熱電偶探針臂。
• 直流探針臂采用三同軸接頭，漏電性能好，實(shí)測(cè)漏電流小于100fA@1V@300K-800K。
• 溫度范圍可擴(kuò)展，安裝高溫選件后，支持300K-800K連續(xù)變溫。
型號(hào)分類(lèi)：
| 型號(hào) | 樣品座尺寸 |
| PSV-2 | 2英寸 |
參數(shù)和指標(biāo)：
| 樣品座 | |
| 樣品座類(lèi)型及材質(zhì)： | 無(wú)氧銅接地樣品座 |
| 尺寸： | 2/4英寸 |
| 可選配置： | 接地樣品座、絕緣樣品座、同軸樣品座、三同軸樣品座 |
| 探針臂組件 | |
| 類(lèi)型： | 直流探針臂 |
| 數(shù)量： | 4個(gè) |
| 接頭和線纜： | 三同軸接頭 |
| 漏電流： | 100fA@1V真空環(huán)境 |
| 信號(hào)頻率： | 直流~50MHz 交流 |
| 匹配阻抗： | 50 Ω |
| 探針針尖直徑： | 100μm鈹銅探針 |
| 位移行程： | X-±35mm，Y-±12.5mm,Z-±6.5mm ，R-±10° |
| 讀數(shù)精度： | 10μm |
| 光學(xué)系統(tǒng) | |
| 顯微鏡放大倍數(shù)： | 10~180 倍 |
| 分辨率： | 3μm |
| 視野范圍： | 可到 22mm |
| 顯微鏡工作距離： | 90~100mm |
| 顯微鏡支架升級(jí)行程： | 65mm |
| 真空腔體 | |
| 材料： | 鋁合金 |
| 腔體容積： | 4/6L |
| 外形尺寸： | 800*800*600 |
| 腔體入口尺寸： | ?124mm |
| 可視窗口尺寸： | 50mm |
| 真空度： | 5E-4 torr |
| 真空抽口： | KF25法蘭 |
| 真空腔體窗片： | 紅外絕熱材質(zhì) |
| 防輻射屏窗片： | 石英材質(zhì) |
| 充氣閥接口： | ?8 快拆接頭 |
| 預(yù)留接口： | 2個(gè)探針臂接口，2個(gè)電學(xué)接口 |
| 減振支架（選件） | |
| 尺寸（mm）：800×800×870；桌腳：有固定腳和滾輪可調(diào)換 | |
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