低溫強(qiáng)磁綜合探針臺(tái)在光學(xué)兼容性及功能擴(kuò)展性方面表現(xiàn)，高精度光學(xué)適配，多維度光路接入，可通過(guò)頂窗和側(cè)窗結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，靈活引入不同角度的入射光，滿足復(fù)雜光學(xué)測(cè)試需求。
低溫強(qiáng)磁綜合探針臺(tái)擁有極為靈活的配置，為滿足不同科研及測(cè)試需求，提供了豐富多樣的擴(kuò)展模塊， 助力實(shí)現(xiàn)多種綜合測(cè)量。常規(guī)擴(kuò)展選件有：基礎(chǔ)顯微鏡光學(xué)選件、光電流測(cè)試選件、磁光克爾測(cè)試選件、拉曼選件、 基礎(chǔ)材料電學(xué)測(cè)量選件、微納器件測(cè)試選件、霍爾效應(yīng)測(cè)量選件、SOT測(cè)量選件等。
低溫強(qiáng)磁綜合探針臺(tái)集成了高磁場(chǎng)、寬溫區(qū)和閉環(huán)制冷、低振動(dòng)技術(shù)等特性，一套PSM-SM系統(tǒng)即可能夠?qū)崿F(xiàn)電 - 光 - 磁 - 溫多模態(tài)的原位測(cè)量，滿足MEMS等器件跨尺度表征的需求，是實(shí)驗(yàn)室開展多物理場(chǎng)耦合測(cè)試的理想選擇。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

- 超低溫，強(qiáng)磁場(chǎng)
• 采用閉循環(huán)制冷，無(wú)需消耗液氦，降低實(shí)驗(yàn)成本
• 溫度范圍:2K~300K（無(wú)探針臂），支持全溫區(qū)連續(xù)精確控溫。寬溫區(qū)能夠模擬多種與常規(guī)的溫度環(huán)境，滿足不同材料在各種溫度條件下的特性科研需求
• 采用高性能超導(dǎo)磁體，實(shí)現(xiàn)7T磁場(chǎng)強(qiáng)度(3T，3-1-1T矢量可選)，顯著提升磁場(chǎng)豐富性

- 低振動(dòng)

• 滿足振動(dòng)敏感測(cè)量：的減震技術(shù)，雙極波紋管平衡結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)超低震動(dòng)；標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)振動(dòng)（RMS)小于500nm，安裝低振動(dòng)選件后，系統(tǒng)振動(dòng)（RMS)小于50nm

- 探針測(cè)試方便快捷
• 樣品腔采用全屏蔽設(shè)計(jì)，能夠有效減小外界的電磁干擾提高測(cè)試的精準(zhǔn)度和穩(wěn)定性
• 探針臂的位移調(diào)節(jié)在真空腔外操作，探針臂 X-Y-Z調(diào)節(jié)，可以在不破壞真空的情況下，切換樣品上的不同器件進(jìn)行測(cè)試。
• 直流臂采用三同軸接頭，漏電性能好，漏電流小于100fA
• 微波臂支持到110GHz，可滿足不同類型的微波測(cè)試需求
• 系統(tǒng)可安裝6個(gè)探針臂（直流、微波、光纖可選），可以根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求，靈活搭配，實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品多種測(cè)試需求，獲取更全面的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)

- 樣品空間大
• 樣品座尺寸35mm，探針可探測(cè)區(qū)域1英寸
• 可對(duì)薄膜、塊體、粉末和液體等各類樣品進(jìn)行測(cè)試，提供多種樣品座可供選擇，包括光學(xué)樣品座、粉末樣品座、液體樣品座以及多電極樣品座等
• 樣品可以水平或垂直于磁場(chǎng)，方便研究不同磁場(chǎng)特性
• 高精度樣品定位：可選XYZR壓電位移臺(tái)實(shí)現(xiàn)器件的精準(zhǔn)定位
• 預(yù)置電學(xué)接口：系統(tǒng)預(yù)置20根同軸電纜，用于傳輸電信號(hào)，低溫端采用FPC 接頭通斷，能夠適應(yīng)低溫環(huán)境下的使用要求。

- 兼容性和擴(kuò)展性強(qiáng)
• 高精度光學(xué)兼容：15mm工作距離，支持50x物鏡配套使用，便于微觀樣品的觀察和光信號(hào)耦合測(cè)試。
• 提供多種材料的側(cè)面光窗和頂部光窗，方便將各方向的光路引入樣品腔。樣品腔周圍可搭建各種光學(xué)光路，靈活實(shí)現(xiàn)各種光學(xué)測(cè)量
• 提供多種測(cè)試選件：納米量級(jí)顯微鏡光學(xué)選件、光電流測(cè)試選件、磁光克爾測(cè)試選件、拉曼選件、基本電學(xué)測(cè)量選件、微納器件電學(xué)測(cè)試選件、霍爾效應(yīng)測(cè)量選件、SOT 測(cè)量選件等，全新方案設(shè)計(jì)，提供低溫強(qiáng)磁環(huán)境下材料的光信號(hào)和電信號(hào)測(cè)量的全套解決方案
• 集成智能化控制軟件，操作簡(jiǎn)單，方便數(shù)據(jù)的記錄和導(dǎo)出

技術(shù)參數(shù)：