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當(dāng)前位置：上海麥科威半導(dǎo)體技術(shù)有限公司>>產(chǎn)品展示>>微納測試儀器>>薄膜應(yīng)力測試儀
薄膜應(yīng)力量測設(shè)備FLX系列設(shè)備是由日本TOHO公司所生產(chǎn)的，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)薄膜應(yīng)力的量測。薄膜應(yīng)力測試儀/日本TOHO測試原理：在硅晶圓或者其他材料基地上...
具備三維翹曲（平整度）及薄膜應(yīng)力的檢測功能，適用于半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)、半導(dǎo)體制程工藝開發(fā)、玻璃及陶瓷晶圓生產(chǎn)，尤其具有測量整面翹曲曲率分布的能力。
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