| 應(yīng)用領(lǐng)域 |
環(huán)保,化工,電子/電池,綜合 |
日本ULVAC愛發(fā)科機(jī)械增壓泵
通過與干式真空泵、油旋轉(zhuǎn)真空泵或水封真空泵一起使用，機(jī)械增壓泵可以將抽速提高到 10kPa 至 0.1 Pa 之間，此時(shí)粗抽泵的抽速會(huì)下降?！癕odel：PRC" 專為特別需要清潔度的半導(dǎo)體和液晶顯示器工藝而設(shè)計(jì)?？梢赃x擇大氣壓?jiǎn)?dòng)類型作為選項(xiàng)。
日本ULVAC愛發(fā)科機(jī)械增壓泵
日本ULVAC愛發(fā)科機(jī)械增壓泵
特征
無油 泵殼內(nèi)無油，即使在排出水蒸氣或溶劑蒸氣時(shí)也能保持穩(wěn)定的性能。
屏蔽電機(jī)
使用屏蔽電機(jī)可以避免在大氣和真空之間使用機(jī)械密封。它可以在清潔的環(huán)境中使用，無需擔(dān)心漏油。
優(yōu)異的耐腐蝕性 表面處理
主要部件的表面硬度和耐腐蝕性的陽極氧化涂層可以防止泵內(nèi)部的劃痕和腐蝕。可以選擇非表面處理作為選項(xiàng)。
用于較短抽真空的常壓?jiǎn)?dòng)型（選項(xiàng)：變頻器）與標(biāo)準(zhǔn)型相比，該類型可以縮短抽氣時(shí)間，因?yàn)楸门c粗抽泵同時(shí)啟動(dòng)。
規(guī)格
| 型號(hào) *1 | PRC-003A 系列 | PRC-006A 系列 | PRC-012A 系列 | PRC-018A 系列 |
最大抽速
| 50 赫茲 | 280米3/h
（4670 升/分鐘） | 500 米3/h
（8330 升/分鐘） | 1000 米3/h
（16700 升/分鐘） | 1500米3/h
（25000 升/分鐘） |
| 60 赫茲 | 330 米3/h
（5500 升/分鐘） | 600米3/h
（10000 升/分鐘） | 1200米3/h
（20000 升/分鐘） | 1800 米3/h
（30000 升/分鐘） |
最大吸入
壓力 | 50 赫茲 | 1.2 x 103帕 | 1.3 x 103帕 | 1.2 x 103帕 |
| 60 赫茲 | 約9.3 x 102帕 | 1.1 x 103帕 | 約9.3 x 102帕 |
最大允許壓
差 | 50 赫茲 | 4.0 x 103帕 | 7.3 x 103帕 | 4.3 x 103帕 |
| 60 赫茲 | 3.3 x 103帕 | 6.0 x 103帕 | 3.2 x 103帕 |
| 極限壓力 *2 | 4.0 x 10-1帕 | 6.7 x 10-1帕 |
| 允許的驅(qū)動(dòng)壓力 | ~1.0 x 105Pa（常壓?jiǎn)?dòng)型） |
| 電機(jī) *3 | 電機(jī)類型 | Cand 三相感應(yīng)電動(dòng)機(jī) |
能效
等級(jí) | ー |
| 權(quán)力 | 0.75 kW（2 極） | 2.2 kW（2 極） | 3.7 kW（2 極） | 5.5 kW（2 極）
|
電壓
（200V
級(jí)） | 50 赫茲 | 200 伏 |
| 60 赫茲 | 200/220 伏 |
| 油 *4 | ULVOIL R-42 |
| 油量 | 0.7 升 | 1.5 升 | 1.9 升 |
| 冷卻方式 | 水冷 |
冷卻
水 | 一次側(cè)
壓力 | 0.3 米帕 |
入口/出口
壓力差異
l 壓力
體積 | 0.01 Mpa以上 |
冷卻水
容量 | 2 升/分鐘 | 3 升/分鐘 |
冷卻水
溫度 *5 | 5 ~ 30 °C |
| 入口 JIS-B-2290 | 相當(dāng)于 VG80 /
ISO80F 或 ISO100F（可選） |
相當(dāng)于 VG100 /
ISO100F
（可選） |
相當(dāng)于 VG150 /
ISO160F
（可選） |
| 出口 JIS-B-2290 | 相當(dāng)于 VF80 / ISO80F 或 ISO100F（可選） |
相當(dāng)于 VF100 /
ISO100F
（可選） |
| 尺寸 W×D×H *6 | 296×575×260
毫米 | 356×619×320
毫米 | 406×759×340
毫米 | 406×989×340
毫米 |
| 重量 | 51 千克 | 86 千克 | 118 千克 | 150 千克 |
| 標(biāo)準(zhǔn)粗抽泵 | VD601 系列 | VD901 系列 | VS2401 系列 | VS2401 系列 |
| 適用標(biāo)準(zhǔn) | - |
| 標(biāo)準(zhǔn)附件 | 一劑油，一套手冊(cè) |
| 選擇 | 無表面處理的泵、適配器法蘭、
常壓?jiǎn)?dòng)型（變頻器）、 |
注）本規(guī)范使用 SI 測(cè)量單位。轉(zhuǎn)換為非 SI 單位如下：
4.0 x 10-1 Pa = 3.0 x 10-3 Torr
*1 標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)為表面處理（陽極氧化涂層）。
可選，無表面處理模型可供選擇。
*2 使用標(biāo)準(zhǔn)前級(jí)泵和標(biāo)準(zhǔn)真空油的皮拉尼真空計(jì)測(cè)量。
*3 防爆法蘭電機(jī)（增安型和隔爆型外殼型）
無法選擇。
*4 油選項(xiàng) ： 可選，氟油 （J25F） 類型可選擇。
*5 在沒有冷凝的環(huán)境中使用。
*6 有關(guān)其他尺寸，請(qǐng)?jiān)L問 ULVAC 網(wǎng)站并參考發(fā)布的 CAD 數(shù)據(jù)。
抽速曲線
PRC-003A/006A 系列 | PRC-012A/018A 系列 |
尺寸圖
| PRC-003A 系列 | PRC-006A 系列 | PRC-012A 系列 | PRC-018A 系列 |
| W | 296 | 356 | 406 | 406 |
| D | 575 | 619 | 759 | 989 |
| H | 260 | 320 | 340 | 340 |
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