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PTLQ系列氣體制冷機(jī)用于氣體的降溫與冷卻，也可選擇進(jìn)行升溫與恒溫控制。氣體通常為干燥的壓縮空氣或氮?dú)?、氬氣等惰性氣體。進(jìn)氣溫度可以是常溫的，也可以是高溫的，經(jīng)過(guò)氣體制冷機(jī)降至目標(biāo)低溫。針對(duì)于晶圓測(cè)試載冷臺(tái)的應(yīng)用來(lái)說(shuō)，氣體制冷機(jī)相比較于傳統(tǒng)的液冷有諸多優(yōu)勢(shì)，如使用方便、安全衛(wèi)生、成本低、無(wú)異味等?？蛻艨筛鶕?jù)氣體處理流量及溫度來(lái)選擇設(shè)備。系統(tǒng)主要由制冷系統(tǒng)、換熱系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。制冷系統(tǒng)采用蒸汽壓縮式制冷，壓縮機(jī)及主要制冷部件均采用國(guó)際品牌。換熱系統(tǒng)包括高效換熱器、連接管路、保溫等組成?？刂葡到y(tǒng)采用西門(mén)子PLC，自適應(yīng)PID控制算法，面對(duì)不同的使用環(huán)境和負(fù)載，無(wú)需改變參數(shù)，即可實(shí)現(xiàn)最佳的溫度控制。高清觸摸屏顯示，完善的安全保護(hù)措施，設(shè)置有多種安全保護(hù)機(jī)制以確保系統(tǒng)的安全運(yùn)行。控制器物聯(lián)網(wǎng)，可在手機(jī)APP上進(jìn)行遠(yuǎn)程查看數(shù)據(jù)、報(bào)警信息和遠(yuǎn)程操控；可選配冷量回收裝置，提升能效，避免低溫冷凝水，通過(guò)機(jī)組自身的制冷，將進(jìn)入裝置內(nèi)的干燥氣體進(jìn)行降溫及恒溫處理，滿足工藝條件要求。