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Chiller 參考價:面議
Chiller主要用于半導體制程中對多路反應腔室的精準控溫,裝置由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機和控制系統(tǒng)構成,采用先進的控制算法,提高了chiller的穩(wěn)定性、控溫...半導體溫控設備Chiller 參考價:面議
半導體溫控設備Chiller由制冷,加熱單元,循環(huán),控制系統(tǒng)組成,全密封結構對環(huán)境友好,產(chǎn)品系統(tǒng)多,控溫范圍廣,智能化控制軟件,加熱制冷速度快。