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半導體前道工藝設備: 耗材 7 真空互聯(lián)系統(tǒng) 6 晶圓鍵合工藝設備 5 刻蝕設備 4 外延系統(tǒng) 3 CVD 2 PVD 1 光刻設備

其他前道工藝設備: 7 CMP 9 倒片機 3 鍍膜設備 8 氧化設備、退火設備 10 其他 6 清洗設備 5 去膠設備 4 離子注入設備 1 蒸發(fā)設備 2 真空干燥設備

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