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標樂Buehler 金相制樣: 磨拋機鑲嵌機切割取樣金相制樣耗材材料試驗機

徠卡Leica 顯微鏡: 共聚焦顯微鏡金相顯微鏡視頻顯微鏡立體顯微鏡其他

徠卡Leica 電鏡制樣: 超薄切片冷凍制備鍍膜/刻蝕/斷裂離子束研磨

威爾遜: 硬度計

形創(chuàng) 三維掃描測量: 專業(yè)便攜式三維掃描儀其他相關設備

萊馳RETSCH 粉碎、研磨、篩分: 實驗室研磨儀及粉碎儀篩分儀 & 分析篩分樣儀，壓片機，干燥儀

麥奇克萊馳MICROTRAC MRB 粒度粒形分析儀: 粒度和粒形分析器

埃爾特ELTRA 碳 / 氫 / 氧 / 氮 / 硫元素分析儀: CN分析儀 TGA分析儀 CHS分析儀 ONH 分析儀

卡博萊特蓋羅Carbolite Gero 高溫箱爐: 真空爐烘箱箱式爐管式爐

鼎竑離子減薄: 輪廓儀閃測儀離子清洗儀離子濺射儀離子減薄儀

EM科特臺式掃描電鏡: 臺式掃描電鏡

美墨爾特: 水浴/油浴環(huán)境測試箱培養(yǎng)箱通用烘箱

微曠高性能原位X射線CT: 四維科研CT 工業(yè)CT 原位試驗臺

英斯特朗Instron 力學測試: 動態(tài)和疲勞測試系統(tǒng) 沖擊材料試驗機萬能材料試驗機

業(yè)納長度測量儀器: 軸類光學測量機粗糙度輪廓儀三維掃描儀接插件在線測量機

澤攸科技掃描電鏡&臺階儀: 掃描電鏡臺階儀

島津Shimadzu 色譜: 氣相色譜儀氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用儀(GC-MS) 色譜工作站液相色譜儀液相色譜質(zhì)譜聯(lián)用儀

島津Shimazu 元素分析與光譜儀: 傅立葉變換紅外光譜儀便攜式拉曼光電直讀光譜儀電感耦合等離子發(fā)射光譜/質(zhì)譜儀分光光度計 X射線衍射儀波長色散型X射線熒光光譜儀能量色散型X射線熒光光譜儀

島津Shimazu 表面分析: 表面分析

島津Shimadzu 物理性分析: 熱分析儀力學分析粒度分析儀

島津Shimadzu 無損檢測: 氦質(zhì)譜檢漏儀非破壞檢查裝置

TQC /SHEEN涂料測試: 粘度測量涂布打樣細度測量比重測量涂膜厚度附著力測量色彩分辨形變/彈性硬度測試光澤度測量溫度檢測清潔度檢測耐磨性測試表面測試

其他設備: Hentec Industries 可焊性測試系統(tǒng) 賓得測試箱頗爾Pall 過濾與分離飛馳Fritsch 球磨粉碎與粒度分析 Systech Illinois 微量氧微量水測試 TM Electronics 檢漏儀 Eagle Vision 包裝表面視覺檢測 Ray-Ran 高分子聚合物測試 CMC-KUHNKE 金屬罐體檢測測試博勢Proceq巡鷹智檢便攜硬度及探傷 Messmer Büchel 軟包強度測試 TMI 軟包表面性能測試賽默飛世爾Thermo Fisher（FEI）掃描電鏡小坂Kosaka 表面測量儀阿朗Arun 直讀光譜儀 C&W 鹽霧箱

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本文采用徠卡三離子束切割儀TIC 3X的旋轉(zhuǎn)拋光樣品臺制備IC芯片。文中樣品很好地說明了徠卡三離子束切割儀中旋轉(zhuǎn)拋光平臺的概念。即使遇到直徑達38 mm的樣品的時候，表面能處理的區(qū)域也能達到30 mm。離子束拋光程度如何取決于之前的機械拋光，因此建議在離子束拋光前的機械拋光盡量做得好一些，在50倍的光鏡下看不見劃痕為宜。

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