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AT650/850T 臺(tái)式熱原子層沉積設(shè)備，具備現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)為等離子體模式的能力，占地面積小（38.1 厘米，寬 15 英寸），可容納直徑為 6 英寸或更小的樣品。
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