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德國韋氏納米系統(tǒng)有限公司
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  • 薄膜沉積系統(tǒng)

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    薄膜沉積薄膜沉積系統(tǒng)
  • PECVD沉積

    PECVD沉積可選配一個三極管(Triode)或電感耦合等離子(ICP)源。三極管源使得用戶可以創(chuàng)建高密度等離子,從而控制薄膜應力。

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    薄膜沉積PECVD沉積

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