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光刻膠是光刻工藝的材料，主要由樹脂、感光劑、溶劑、添加劑等組成，其中樹脂和感光劑是的部分。光刻膠主要成分：樹脂聚合物、感光劑、溶劑、添加劑。
中文名稱：2-羰基-四氫呋喃-3-羥基-甲基丙烯酸酯
英文名 2-oxotetrahydrofuran-3-yl methacrylate
別稱：甲基丙烯酸2-氧代四氫呋喃-3-基酯 (含穩(wěn)定劑BHT)
CAS號：195000-66-9
分子量：170.16300
密度：1.17g/cm3
沸點：296.8oC at 760 mmHg
分子式：C8H10O4
熔點：N/A
MSDS：N/A
閃點：151.9oC
光刻膠Lift off KXN 5735-LO/LOL2000/3000/ROL-7133系列
光刻膠SU-8 100
光刻膠SU-8 2050
聚乙烯醇肉桂酸酯系負(fù)型光刻膠
Liftft off光刻膠
ma-N 1400系列 負(fù)性光刻膠
ma-N 400系列 負(fù)性光刻膠
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