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該光學(xué)平臺采用高剛性蜂窩結(jié)構(gòu)設(shè)計,具有優(yōu)異的平整度和隔振性能。
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一體式/桌面式主動隔振平臺,一體式隔振系統(tǒng),占用空間小、高集成
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真空主動隔振平臺ZVI-VB系列,可以在真空環(huán)境下使用的主動隔振平臺
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氣浮并聯(lián)負(fù)剛度主動隔振平臺ZVI-FV系列
氣浮并聯(lián)負(fù)剛度主動隔振平臺ZVI-FV系列,由空氣彈簧,磁負(fù)剛度機構(gòu)
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SGMV系列自動滑臺Sigmakoki采用伺服電機,可半閉環(huán)控制,在低到高
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日本Optosigma提供可用于真空腔內(nèi)的小型真空自動平臺,VTAMM60S-20
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Optosigma提供真空5項步進電機,采用蝸輪蝸桿驅(qū)動的真空電動旋轉(zhuǎn)平
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西格瑪光機采用自己特別的定位平臺設(shè)計技術(shù)和制造技術(shù)所生產(chǎn)的低價
