相較于傳統(tǒng)的被動隔振方案，主動隔振平臺具有很大的優(yōu)勢。它不僅能夠有效隔離來自地面或周邊設(shè)備的振動，還能應(yīng)對高頻、低幅等復(fù)雜振動環(huán)境，確保精密設(shè)備在*端條件下也能保持平穩(wěn)運行。此外，該產(chǎn)品還具備智能調(diào)節(jié)功能，可根據(jù)設(shè)備的工作狀態(tài)和外部環(huán)境的變化，自動調(diào)整隔振參數(shù)，實現(xiàn)優(yōu)化的振動控制效果。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、精密機械加工、光學(xué)儀器檢測、生物醫(yī)療實驗等高精密要求的場景中，為設(shè)備的穩(wěn)定運行提供堅實保障。

使用主動隔振平臺的意義有：

1、從<1Hz開始強烈消除地面震動，氣動平臺在這一低頻處無法起到有效的隔振

2、提高質(zhì)量、生產(chǎn)量

3、更加細小特色的成像能力

4、前沿研究

5、比氣動平臺更穩(wěn)定

6、滿足SEM標準地點安裝參數(shù)的解決方案

7、使得新實驗室及研究設(shè)備的工程造價更低

特點：

1、寬頻隔振：可在1.0Hz~200Hz范圍內(nèi)有效工作，覆蓋低頻至高頻振動。

2、高精度控制：通過閉環(huán)反饋系統(tǒng)實現(xiàn)毫秒級響應(yīng)，振動傳遞率顯著降低。

3、多自由度控制：可消除多個自由度方向的振動，適用于復(fù)雜環(huán)境。

4、穩(wěn)定性與靈活性：具備自動調(diào)節(jié)水平功能，適應(yīng)不同實驗需求。