日本豐興AD-SL231D-504B TOYOOKI
| 參考價(jià) | ￥ 98 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 上海茂碩機(jī)械設(shè)備有限公司
- 品牌 TOYOOKI/日本豐興
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2025/8/6 14:01:05
- 訪問(wèn)次數(shù) 1982
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日本SMC 德國(guó)HYDAC賀德克，美國(guó)ASCO電磁閥，BURKERT電磁閥,,ATOS電磁閥,CKD氣動(dòng)元件,NACHI不二越,festo電磁閥
| 3C閥門類別 | 工業(yè) | 流動(dòng)方向 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
日本豐興AD-SL231D-504B TOYOOKI
1. 產(chǎn)品概述
型號(hào)：AD-SL231D-504B
品牌：豐興（Toyoko Koki）
類型：高真空角閥（Angle Valve）
設(shè)計(jì)用途：用于半導(dǎo)體、真空鍍膜、分析儀器等需要高密封性和快速響應(yīng)的真空系統(tǒng)。
2. 核心特點(diǎn)
高密封性：
泄漏率低至 <1×10?? Pa·m3/s（氦氣檢漏），確保超高真空（UHV）環(huán)境下的穩(wěn)定性。
金屬密封（可選氟橡膠密封，適用于不同溫度需求）。
快速開關(guān)：
氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)，開關(guān)時(shí)間 <0.5秒（取決于配置），適合高頻次操作。
耐腐蝕性：
閥體和密封材料可耐受 腐蝕性氣體（如Cl?、HBr），適用于半導(dǎo)體刻蝕工藝。
緊湊設(shè)計(jì)：
輕量化結(jié)構(gòu)，節(jié)省安裝空間，適合緊湊型設(shè)備布局。
3. 技術(shù)參數(shù)
| 參數(shù) | 規(guī)格 |
|---|---|
| 通徑（DN） | 50 mm（或根據(jù)型號(hào)定義） |
| 連接方式 | CF法蘭（ISO-K）、KF法蘭或定制 |
| 壓力范圍 | 大氣壓 ~ 1×10?? Pa |
| 驅(qū)動(dòng)方式 | 氣動(dòng)（標(biāo)準(zhǔn)） / 可選電動(dòng)或手動(dòng) |
| 閥體材質(zhì) | 不銹鋼（SUS304/SUS316L） |
| 密封材質(zhì) | 金屬（銅/鋁）或氟橡膠（FKM） |
| 溫度范圍 | -20°C ~ +150°C（氟橡膠密封） |
| 適用氣體 | 惰性氣體、腐蝕性氣體、高純度氣體 |
4. 典型應(yīng)用
半導(dǎo)體設(shè)備：用于刻蝕、CVD、PVD設(shè)備的腔室隔離與氣體控制。
真空鍍膜：磁控濺射、蒸鍍機(jī)的真空路徑切換。
科研儀器：電子顯微鏡、粒子加速器的真空系統(tǒng)。
5. 選型注意事項(xiàng)
兼容性：需確認(rèn)法蘭接口（如CF、KF）與現(xiàn)有系統(tǒng)匹配。
驅(qū)動(dòng)方式：氣動(dòng)需配置潔凈壓縮空氣源，電動(dòng)需對(duì)接PLC控制。
特殊需求：腐蝕性氣體應(yīng)用需選擇SUS316L材質(zhì)和金屬密封。
日本豐興AD-SL231D-504B TOYOOKI
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