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日本豐興AD-SL231D-304B氣動角閥TOYOOKI

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3C閥門類別 工業(yè) 流動方向 其他
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合

日本豐興AD-SL231D-304B氣動角閥TOYOOKI

1. 產(chǎn)品概述

  • 型號:AD-SL231D-304B

  • 品牌:豐興(Toyoko Koki)

  • 類型:氣動高真空角閥(Angle Valve)

  • 定位:適用于超高真空(UHV)和腐蝕性環(huán)境,常見于半導(dǎo)體、鍍膜及科研設(shè)備。


2. 核心特點

  • 超高真空兼容

    • 泄漏率 <1×10?? Pa·m3/s(金屬密封),滿足UHV標準(10?? Pa以下)。

  • 耐腐蝕設(shè)計

    • 閥體材質(zhì)為 SUS304不銹鋼(標準),可選SUS316L增強抗腐蝕性(如應(yīng)對Cl?、HBr)。

  • 快速響應(yīng)

    • 氣動驅(qū)動,開關(guān)時間 ≤0.5秒,支持高頻操作(如半導(dǎo)體腔室隔離)。

  • 緊湊輕量化

    • 結(jié)構(gòu)優(yōu)化,重量較傳統(tǒng)閥門減輕20%,適合高密度設(shè)備集成。


3. 技術(shù)參數(shù)

參數(shù)規(guī)格
通徑(DN)50 mm(或根據(jù)型號定義)
連接方式CF法蘭(ISO-K)、KF法蘭
壓力范圍大氣壓 ~ 1×10?? Pa
驅(qū)動方式氣動(標準) / 可選電動
閥體材質(zhì)SUS304不銹鋼(默認)
密封材質(zhì)金屬(銅/鋁)或氟橡膠(FKM)
溫度范圍-20°C ~ +150°C(氟橡膠密封)
適用氣體惰性氣體、腐蝕性氣體、高純度氣體

4. 與AD-SL231D-504B的區(qū)別

  • 材質(zhì)差異

    • -304B:閥體為SUS304(通用型不銹鋼),成本較低。

    • -504B:閥體可能升級為SUS316L(更高耐腐蝕性),適合惡劣工藝環(huán)境。

  • 密封選項:兩者均支持金屬/氟橡膠密封,但-504B可能默認配置更耐腐蝕的密封組合。


5. 典型應(yīng)用

  • 半導(dǎo)體制造:刻蝕設(shè)備腔室隔離、CVD氣體通路控制。

  • 真空鍍膜:磁控濺射設(shè)備的真空系統(tǒng)閥門切換。

  • 科研裝置:同步輻射光源、電子顯微鏡的真空隔離。


6. 選型建議

  • 腐蝕性環(huán)境:若工藝涉及強腐蝕氣體(如等離子刻蝕),建議確認SUS304是否足夠,或升級至SUS316L版本。

  • 驅(qū)動方式:氣動需潔凈壓縮空氣(無油、無水),電動需匹配PLC信號(如24VDC)。

  • 法蘭兼容性:需與現(xiàn)有系統(tǒng)的法蘭標準(CF/KF)匹配,必要時提供接口圖紙。


7. 支持與服務(wù)

  • 豐興提供 3D模型下載(STEP/IGES格式)和定制化修改(如法蘭方向調(diào)整)。

  • 渠道可獲取泄漏率測試報告和壽命驗證數(shù)據(jù)(通常>100萬次循環(huán))。

日本豐興AD-SL231D-304B氣動角閥TOYOOKI



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