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微位移測量激光干涉儀(型M800,德國JENAer公司生產(chǎn),*)

具體成交價以合同協(xié)議為準

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!




 


 上海貝丁漢工業(yè)自動化設備有限公司——主要從事各種進口儀器儀表、機械設備、電子產(chǎn)品及其配件等的銷售和技術(shù)服務工作。 為英國Scantron Industrial Products Ltd公司總代理,美國Hamar Laser Instruments Inc公司中國總代理,德國JENAer公司中國總代理和匈牙利CE Optics中國總代理。經(jīng)營的主要產(chǎn)品包括光學粗糙度輪廓儀、在線厚度檢測儀、激光直線度測量儀、激光平面度測量儀、激光平行度測量儀、激光垂直度測量儀、孔同軸度檢測儀、主軸對中儀、孔對心軸對中檢測儀、激光幾何測量系統(tǒng)、雙頻激光干涉儀、多點溫度測量儀、相位波前角色散測量儀、材料色散測量儀、載波包絡相位調(diào)諧儀等。



    本公司的激光儀器主要為激光準直、對中、校正和系統(tǒng)檢測。功能包括各種機械設備和部件的平面度檢測、直線度檢測、平行度檢測、垂直度檢測、孔的同軸度檢測、車床和車削中心的主軸對中檢測、聯(lián)軸器和電機軸的對中校正檢測等。廣泛應用于機床加工中心幾何量檢測、航空航天設備的組裝和工裝的校正、船舶制造工業(yè)標線和艉軸管檢測、汽車發(fā)動機同軸度、電廠汽輪機隔板同軸度、各種印刷造紙注塑設備輥軸的平行度的檢測,及機床的定位、補償和運動平臺的微位移檢測等。



載波包絡相位調(diào)諧儀,色散測量儀,雙頻激光干涉儀,激光平面度測量儀,粗糙度輪廓儀,輥筒平行度測量儀

產(chǎn)品功能
    ZLM800微位移測量激光干涉儀——雙頻激光干涉儀,主要用于各種平臺和部件的微位測量、各種擺鏡角度變化量的監(jiān)測、運動平臺位移量和角度變化的檢測、光刻機幾何量的測量、數(shù)控機床幾何量的測量等,zui多可實現(xiàn)六軸聯(lián)動。也可通過位移+偏擺+俯仰的三角關(guān)系檢測物體的振動變化。
    1.納米級的多軸聯(lián)動位移、速度、加速度的動靜態(tài)測量分析及運動控制環(huán)同步測量校準;
    2.同步實時測量多軸聯(lián)動驅(qū)動部件的俯仰、扭擺、滾動的角位移變化, X-Y-Z 軸的聯(lián)動插補位移誤差及驅(qū)動匹配誤差分析;
    3.納米級振動的多軸向同步數(shù)據(jù)采集測量和分析。


性能優(yōu)勢 技術(shù)參數(shù)

型號:ZLM800
使用高性能PCI或單片機式數(shù)據(jù)處理器
He-Ne激光平均波長:
632.8 nm
激光穩(wěn)頻精度:
一小時2x10-9±0.002ppm
壽命內(nèi)2x10-8±0.02ppm
系統(tǒng)精度(0-40℃時):
±0.4ppm
光束直徑:
6mm可選3.2mm
激光管突發(fā)zui大輸出功率:
5mW (激光等級2)
每束光可測量的軸數(shù):
zui多6
線性測量距離:
2m
角度測量范圍:
± 3.5'
zui大速度:
2m/s
zui大加速:
無限制
zui高采樣頻率:
內(nèi)部1MHz,外部40MHz
預熱時間:
10分鐘
位移測量分辨率:
1.25nm
位移測量精度:
±0.4ppm (μ/m)
角度測量分辨率:
0.003μrad
角度測量精度:
±0.1ppm實測值
數(shù)據(jù)接口:
積分信號
32 Bit (
實時時間
Dt » 20 ns
數(shù)據(jù)分析標準:
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作環(huán)境:
溫度:15°C-30°C
濕度:<90%無冷凝
儲存環(huán)境:
溫度:10°C-40°C
濕度:<95%無冷凝

應用案例

l          系統(tǒng)采用雙頻激光發(fā)射器及多軸路干涉信號同步數(shù)據(jù)處理器,是正意義上的雙頻激光干涉儀,頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”概念的區(qū)別,*雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。世界范圍內(nèi)只有兩家雙頻激光干涉儀的生產(chǎn)商,德國耶拿爾公司是其中的一家。
l          全部部件皆在德國生產(chǎn)制造,絕非為了降低成本而在第三方國家進行部件加工。光學組件全部采用蔡司光學鏡,是世界上*一家將*的蔡司光學鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。
l           激光器壽命更長,可達20000小時,激光穩(wěn)頻精度高,一小時內(nèi)為±0.002ppm,在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達±0.02ppm
l          干涉鏡采用差分干涉原理,系統(tǒng)精度更高,可達±0.4ppm。
l          基于可朔源的激光波長為位移量度量基準,應用雙頻激光外差式干涉原理及交流光電信號處理器,克服了單頻激光干涉測量的直流電平漂移及受環(huán)境因素光強變化約束的弊端,具有*的增益、高信噪比和抗電磁干擾性能,實現(xiàn)了可朔源的多光路外差式激光干涉測量。
l          采樣頻率更快,zui高達1MHz,可在0.001Hz-1MHz之間進行選擇。
l          被測物體zui大速度16m/s(可選);采用高精度AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器,分辨率達0.6nm(當移動速度為1m/s時,線性分辨率更可高達為0.1nm)。
l          無加速度限制;當光線微弱時,性能也十分穩(wěn)定。
l          信號延時<200ns;對電磁干擾不敏感。
l          對于多軸聯(lián)動復雜光路的角度和微位移的測量,ZLM800型是理想的選擇


 

以下是為*某項目設計的ZLM800雙頻激光干涉儀兩個應用案例。在*個案例中,用兩個3軸角度干涉儀分別監(jiān)視兩個擺鏡的擺動,實時測試兩個擺鏡對應量(俯仰、偏擺和位移)的差異情況。在第二個案例中,用一個3軸角度干涉儀來測試擺鏡的鏡面擺動情況,2個單軸位移干涉儀檢測一個兩軸位移平臺的運動情況。


 
 
下述案例是為國內(nèi)某研究所某項目設計的ZLM800測量系統(tǒng)。用戶預先把被測物體放置在密閉箱中,密閉箱留有觀察窗口。所需要測量的數(shù)據(jù)是被監(jiān)視目標Ⅰ、被監(jiān)視目標Ⅱ的X、Y向的角度變化量,以及這兩個目標在Z方向的相對變化量。


ZLM800部分光路圖示例


從X、Y和Z方向同時測量位移變化,其中X和Y在一個水平層面上

從X、Y和Z方向同時測量位移變化,其中X和Y不在一個水平層面上

在水平方向同時測量位移、偏擺和俯仰角度變化(上圖)
 
在垂直方向同時測量位移、偏擺和俯仰角度變化(上圖)
 
 
同時從X和Y方向測量位移和偏擺變化(上圖)
 
同時從X和Y方向測量運動平臺兩個層面的位移變化(上圖)
 
同時從X和Y方向測量位移、偏擺和俯仰的角度的變化(1)
 
同時從X和Y方向測量位移、偏擺和俯仰的變化(2)
 
同時從X和Y方向測量位移、偏擺和俯仰的變化(3)


資料下載
復雜光路測量的應用.pdf
系統(tǒng)應用簡介.pdf

 
 
如果用戶有更復雜的光路需求,垂詢!
 


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