澤攸電鏡的JS系列臺(tái)階儀是進(jìn)行納米尺度表面輪廓和膜厚測(cè)量的工具。它與掃描電鏡技術(shù)相結(jié)合，可提供多維度的樣品信息。原位實(shí)驗(yàn)方案：ZEM系列臺(tái)式電鏡介紹

產(chǎn)品細(xì)節(jié)與性能：
JS系列采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)和柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了探針的平穩(wěn)掃描。測(cè)量力可調(diào)，以適應(yīng)不同硬度樣品的測(cè)量需求，避免對(duì)樣品造成損傷。

核心參數(shù)（JS 400例）：

• 掃描范圍：100μm × 100μm × 25μm (XYZ)

• 垂直分辨率：0.1nm

• 掃描速度：0.01 - 1mm/s

• 樣品尺寸：直徑≤ 6英寸

用途：
主要用于半導(dǎo)體制造中的膜厚測(cè)量、MEMS器件表面形貌表征、材料表面的粗糙度分析等。

澤攸電鏡提供多種可與掃描電鏡集成的原位樣品臺(tái)，使研究人員能夠在微觀尺度觀察樣品在熱、力、電等外界條件下的動(dòng)態(tài)變化過(guò)程。

產(chǎn)品細(xì)節(jié)與用材：
原位樣品臺(tái)如加熱臺(tái)、拉伸臺(tái)，采用耐高溫材料如陶瓷和特種合金，確保在實(shí)驗(yàn)過(guò)程中的穩(wěn)定性和可靠性。設(shè)計(jì)考慮了與電鏡腔體的兼容性。

核心參數(shù)（加熱臺(tái)HTS 1000例）：

• 溫度范圍：室溫 - 1000°C

• 升溫速率：0.1 - 50 °C/min

• 樣品尺寸：長(zhǎng)15mm × 寬10mm × 厚2mm

• 加熱帶材料：耐高溫金屬

用途：
用于觀察材料在加熱過(guò)程中的相變、納米材料在應(yīng)力下的變形斷裂、以及電池材料的充放電循環(huán)研究等。

使用簡(jiǎn)述：
將專用樣品臺(tái)裝入電鏡，連接外部控制單元。通過(guò)獨(dú)立的軟件程序控制環(huán)境條件，并在電鏡中實(shí)時(shí)觀察和記錄樣品的微觀演變。原位實(shí)驗(yàn)方案：ZEM系列臺(tái)式電鏡介紹