采用紫外線照射光源使用汞氙燈作為光源，是一種通過(guò)使用紫外線冷鏡和光學(xué)積分器，只選擇和照射具有優(yōu)良均勻性的恒定偏轉(zhuǎn)光的光源裝置。

2. 設(shè)備名稱/型號(hào)

紫外偏振光曝光系統(tǒng)

型號(hào)：HC-300PUFM-50

3. 適應(yīng)樣品尺寸

工作臺(tái)尺寸：100mmx100mm

4. 設(shè)備尺寸

參照設(shè)備外觀圖

5. 設(shè)備配置

設(shè)備構(gòu)成

1）輻照光源單元           1臺(tái)

2）燈具照明電源單元       1臺(tái)

3）干擾濾波片（HBPF313） 1片

4）試料平臺(tái)               1臺(tái)

5）樣品吸附泵箱           1臺(tái)

6）電纜類                 1式

7）Hg-Xe燈（300W）      1件

8）維修鏡光軸調(diào)整鏡       1片

6. 設(shè)備性能

1）照射光源部分

①使用燈：Hg-Xe300W（UXM-300YA）

②燈泡壽命：平均1000小時(shí)（保修500小時(shí)）

③照射光譜特性：250nm~500nm

④主波長(zhǎng)：313nm

(5) 輻照照度：2 - 4mw/cm^2可調(diào)

※使用照度計(jì)OAI-306測(cè)量得到的313nm，作為照度保證值。

 (6) 可調(diào)輻照方式：手動(dòng)調(diào)節(jié)（通過(guò)安裝手動(dòng)輻照調(diào)節(jié)機(jī)制進(jìn)行調(diào)節(jié)）。

 (7) 輻照面積：有效□50毫米

 (8) 輻照距離：約20毫米

（9） 照度分布：在±10%以內(nèi)（@照度2-4mw）。

（10）消光比：50：1以上（消光比=S波：P波=χ：1）

（11）濾光片支架：φ50.8 mm濾光片專用

?冷卻：強(qiáng)制空冷

 ?重量：約50公斤

 (?涂裝顏色：根據(jù)客戶的要求。

(15) 外部尺寸：見(jiàn)附圖。

2）光源電源部分

①輸入電壓：?jiǎn)蜗?00V±10P/60Hz

②功耗：MAX.700 VA

③光源控制：開(kāi)關(guān)恒功率控制

④功率可調(diào)：約250~300W

⑤穩(wěn)定度：±2%以內(nèi)

⑥冷卻：自然對(duì)流冷卻

⑦重量：約5千克

⑧涂裝顏色：根據(jù)顧客的要求

⑨外形尺寸：見(jiàn)附件附圖

⑩快門(mén)控制：手動(dòng)控制（通過(guò)開(kāi)關(guān)任意開(kāi)閉，通過(guò)計(jì)時(shí)器控制時(shí)間）

7. 干擾濾波器（HBPF313）

①313nm帶通濾波器    1件

可以通過(guò)安裝一個(gè)高透光率的干擾過(guò)濾器來(lái)選擇照射波長(zhǎng)。

1) LWPF: 313nm / 365nm / 405nm / 436nm    4種類型

2) HBPF：254nm / 313nm / 365nm / 405nm / 436nm   5種類型

8. 樣品臺(tái)

①樣品尺寸：最大100mmx100mm

②高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)：Z軸平臺(tái)

③沖擊機(jī)構(gòu)：0~50度角度可變（1度單位）

④旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)：90度旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)

⑤吸附機(jī)構(gòu)：防止試料脫落的吸附機(jī)構(gòu)

※吸附用孔的構(gòu)造是跟客戶另外協(xié)商決定

9. 樣品吸附（真空）泵箱

①輸入電壓：?jiǎn)蜗?00V（由電源部分供電）

②重量：約5Kg

③漆面顏色：黑色（面板 銀色）

10. 安全措施

1）絕緣電阻：各異極間DC500V20MΩ以上

2）絕緣耐壓：輸入-輸出間AC1000V  1分鐘

輸出到最終聚集AC500V   1分鐘

3）泄漏電流：AC200V下2mA以下（1kΩ/0.15μF測(cè)量）

4）殘余能量：在施加最大輸入電壓·空載的情況下，從電源關(guān)閉開(kāi)始經(jīng)過(guò)1分鐘后，控制在42V以下。

5）噪音對(duì)策：1μsec.±600V（正常共模）下無(wú)誤操作

6）聯(lián)鎖：光源開(kāi)啟狀態(tài)下，打開(kāi)維修保養(yǎng)倉(cāng)蓋，燈OFF

照射時(shí)打開(kāi)丙烯酸蓋，即時(shí)關(guān)閉

11. 環(huán)境條件

1）使用環(huán)境

①環(huán)境溫度：20℃~30℃

②相對(duì)濕度：65%Rh以下（無(wú)結(jié)露）

③清潔度：建議在1000級(jí)以下

2）保存環(huán)境

①環(huán)境溫度：10℃~40℃

②相對(duì)濕度：80%Rh以下（無(wú)結(jié)露）

※請(qǐng)不要在有腐蝕性氣體·多粉塵·可燃性的氣氛和水滴的危險(xiǎn)的環(huán)境中使用。（必須要在特殊環(huán)境下使用時(shí)，請(qǐng)咨詢制造商。）

12. 電源

1）電源：?jiǎn)蜗?00V±10%   50/60Hz  MAX10A

13. 消耗品

1）燈泡：平均壽命1000小時(shí)保證壽命500小時(shí)

型號(hào)：UXM-300YA

2）橢圓鏡：平均壽命3000小時(shí)

壽命因使用環(huán)境而異

3）UV平面鏡：平均壽命3000小時(shí)

壽命因使用環(huán)境而異

4）旋轉(zhuǎn)螺線管：平均壽命200,000次

5）切換單元：平均壽命50,000小時(shí)

14. 驗(yàn)收條件

另行協(xié)商

15. 保證事項(xiàng)

對(duì)于我們?cè)O(shè)計(jì)和制造的交付設(shè)備，在驗(yàn)收后一年內(nèi)出現(xiàn)的缺陷和故障，我們將迅速免費(fèi)維修和更換。但是下列的情況不屬于保修對(duì)象。

①因跌落或極度沖擊而引起的故障和損傷

②在影響電路的灰塵多的地方使用狀態(tài)下發(fā)生的故障和損壞

③因不當(dāng)修理改造而引起的故障和損壞

④由于施加異常電壓而引起的故障和損壞

⑤在腐蝕性氣體環(huán)境中使用及因天災(zāi)引起的故障和損壞

⑥非消耗品指定零件的情況

⑦未按照操作說(shuō)明使用的情況

⑧經(jīng)調(diào)查發(fā)現(xiàn)使用方法異常的情況

⑨在規(guī)格之外運(yùn)行的情況

⑩因?yàn)?zāi)害等原因發(fā)生故障的情況

※因使用本設(shè)備而造成的損壞或損失不在保修范圍內(nèi)

1）燈泡保修

在正常使用條件下，在亮燈累計(jì)500小時(shí)內(nèi)不亮或損壞的，

免費(fèi)交換。但是，由于燈破裂造成的光學(xué)元件損壞需要支付費(fèi)用。

2）設(shè)備保修

除耗材外，在交付一年內(nèi)按照使用操作書(shū)正常使用狀態(tài)下

如果發(fā)生故障，將免費(fèi)修理。

※本規(guī)格書(shū)的內(nèi)容如有進(jìn)一步變更，將制作并提交交付規(guī)格書(shū)。

16. 提交文件（決定交付設(shè)備后）

1）審批圖紙普通紙1份

2）工藝表普通紙1份

3）操作說(shuō)明書(shū)潔凈紙1份普通紙1份

4）采購(gòu)品操作說(shuō)明書(shū)普通紙1份

5）驗(yàn)收試驗(yàn)數(shù)據(jù)潔凈紙1份普通紙1份

6）電氣原理圖潔凈紙1份普通紙1份

7）序列梯形圖*未使用

8）耗材清單潔凈紙1份普通紙1份

9）保養(yǎng)（維護(hù)）要領(lǐng)書(shū)潔凈紙1份普通紙1份