VeriFire ZYGO激光干涉測量系統(tǒng)技術(shù)解析
- 公司名稱 北京儀光科技有限公司
- 品牌 ZYGO/翟科
- 型號 VeriFire
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/8/13 10:29:40
- 訪問次數(shù) 87
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產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 15萬-20萬 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,建材/家具,汽車及零部件,綜合 |
產(chǎn)品概述
ZYGO激光干涉測量系統(tǒng)是基于光學(xué)干涉原理的精密測量設(shè)備,適用于光學(xué)元件、半導(dǎo)體器件等產(chǎn)品的表面形貌檢測需求。該系統(tǒng)采用非接觸式測量方式,可提供納米級精度的表面特征數(shù)據(jù)。
核心技術(shù)特點
測量系統(tǒng)性能
• 采用激光共聚焦干涉測量技術(shù)
• 垂直分辨率可達(dá)亞納米級
• 水平分辨率最高0.5微米
• 測量范圍覆蓋納米至毫米量級
光學(xué)系統(tǒng)配置
• 多規(guī)格物鏡可選配
• 自動對焦與樣品導(dǎo)航功能
• 大視野拼接測量能力
• 高穩(wěn)定性機械結(jié)構(gòu)設(shè)計
數(shù)據(jù)分析功能
• 三維形貌重構(gòu)與可視化
• 表面粗糙度等參數(shù)計算
• 多區(qū)域?qū)Ρ确治龉ぞ?/p>
• 自定義報告生成模塊
典型應(yīng)用領(lǐng)域
光學(xué)鏡片面形精度檢測
半導(dǎo)體晶圓表面質(zhì)量評估
精密機械零件形位測量
功能性薄膜表面分析
MEMS器件三維形貌表征
操作注意事項
• 建議在穩(wěn)定環(huán)境條件下使用
• 測量前需進行系統(tǒng)校準(zhǔn)
• 根據(jù)樣品特性選擇測量模式
• 特殊樣品可能需要專用夾具
技術(shù)支持服務(wù)
ZYGO提供以下專業(yè)支持:
系統(tǒng)安裝與操作培訓(xùn)
測量方法開發(fā)指導(dǎo)
定期維護校準(zhǔn)服務(wù)
軟件功能升級支持
產(chǎn)品特點
該系統(tǒng)通過精密的干涉測量技術(shù),為表面形貌分析提供了可靠的檢測手段,適用于需要高精度表面測量的研發(fā)與質(zhì)量控制場景。
(注:具體測量性能可能因配置和使用條件存在差異,建議參考實際測試數(shù)據(jù)。)