300mm晶圓盒傳送存儲(chǔ)系統(tǒng)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 北京華丞電子有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/7/31 16:44:05
- 訪問(wèn)次數(shù) 23
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創(chuàng)新點(diǎn)
自動(dòng)化效率高
可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化生產(chǎn),實(shí)現(xiàn)無(wú)人作業(yè),可以有效避免人為因素的干擾。
全密封FIMS
創(chuàng)新型結(jié)構(gòu)形式,對(duì)顆粒管控更嚴(yán)格,國(guó)內(nèi)產(chǎn)品。
天車系統(tǒng)交互
具有與客戶端天車OHT系統(tǒng)交互晶圓盒FOUP功能,具有晶圓盒FOUP移載、存儲(chǔ)功能。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體—集成電路
半導(dǎo)體—封裝
半導(dǎo)體顯示
功率半導(dǎo)體
化合物半導(dǎo)體
光伏
技術(shù)指標(biāo)
振動(dòng)值 | ≤0.3g |
顆粒指標(biāo) | <10ea@0.02微米, <3ea@0.5微米 |
FIMS氮?dú)獯祾?/strong> | 80L/min流量下4min將晶圓盒FOUP內(nèi)氧氣濃度降低至≤50ppm |