300mm (氮?dú)? 晶圓盒傳送存儲(chǔ)系統(tǒng)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 北京華丞電子有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/7/31 16:42:42
- 訪問次數(shù) 14
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創(chuàng)新點(diǎn)
自動(dòng)化效率高
可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化生產(chǎn),實(shí)現(xiàn)無人作業(yè),可以有效避免人為因素的干擾。
全密封FIMS
創(chuàng)新型結(jié)構(gòu)形式,對(duì)顆粒管控更嚴(yán)格,國內(nèi)產(chǎn)品。
N2 Purge系統(tǒng)
在晶圓盒存儲(chǔ)過程中進(jìn)行N2 Purge功能,既能夠提高生產(chǎn)效率又能夠降低環(huán)境中的顆粒,滿足更高工藝制程需求。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體—集成電路
半導(dǎo)體—封裝
半導(dǎo)體顯示
功率半導(dǎo)體
化合物半導(dǎo)體
光伏
技術(shù)指標(biāo)
振動(dòng)值 | ≤0.3g |
顆粒指標(biāo) | <10ea@0.02微米, <3ea@0.5微米 |
Shelf 氮?dú)獯祾?/span> | 15L/min流量下5min將存儲(chǔ)在Shelf架上的FOUP盒內(nèi)氧氣濃度降低至≤1%,濕度降低至≤10% |
FIMS 氮?dú)獯祾?/span> | 80L/min流量下4min將晶圓盒FOUP內(nèi)氧氣濃度降低至≤50ppm |