MKY-SD-3000 離子濺射儀

離子濺射儀外觀亮麗做工精致，旋鈕式定時(shí)器檔位清晰，手感舒適；

特殊定制的真空指示和電流指示表頭沉穩(wěn)大；

前面板上的微泄漏氣閥門(mén)可以連接多種氣體；

調(diào)節(jié)濺射電流大小，成膜速度快，質(zhì)量好；

高壓輸出可使成膜更加牢固快速。

功能控制和定時(shí)皆由CPU調(diào)度，使用范圍廣。

工作時(shí)結(jié)合內(nèi)部自動(dòng)控制電路很容易控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及選擇所需的電離氣體，獲得最佳鍍膜效果。

配有高位定性的飛躍真空泵。

離子濺射儀是一款針對(duì)做電極研究和半導(dǎo)體研究的儀器，相對(duì)于基礎(chǔ)型濺射儀，SD-3000型的鍍層和樣品之間更貼合，更有附著力，以便后續(xù)的研究。

需要鍍膜的樣品

1、電子束敏感的樣品:

主要包括生物樣品，塑料樣品等。SEM中的電子束具有較高能量，在與樣品的相互作用過(guò)程中，它以熱的形式將部分能量傳遞給樣品。如果樣品是對(duì)電子束敏感的材料，那這種相互作用會(huì)破壞部分甚至整個(gè)樣品結(jié)構(gòu)。這種情況下，用一種非電子束敏感材料制備的表面鍍層就可以起到保護(hù)層的作用，防止此類損傷；

2、非導(dǎo)電的樣品:

由于樣品不導(dǎo)電，其表  面帶有“電子陷阱”，  這種表面上的電子積累  被稱為“充電”。為了  消除荷電效應(yīng)，可在樣  品表面鍍一層金屬導(dǎo)電  層，鍍層作為一個(gè)導(dǎo)電  通道，將充電電子從材  料表面轉(zhuǎn)移走，消除荷  電效應(yīng)。在掃描電鏡成  像時(shí)，濺射材料增加信  噪比，從而獲得更好的成像質(zhì)量。

3、新材料:非導(dǎo)電材料和半導(dǎo)體材料

參數(shù)：

主機(jī)規(guī)格：340mm×390mm×300mm（W×D×H）

靶（上部電極）：金：50mm×0.1mm（D×H）

靶材：Au（標(biāo)配）

樣品室：硼硅酸鹽玻璃160mm×120mm（D×H）

靶材尺寸：Ф50mm    

真空指示表： 最高真空度：≤ 4X10-2   mbar

離子電流表： 最大電流：50mA

定時(shí)器：最長(zhǎng)時(shí)間：1-360s

微型真空氣閥：可連接φ3mm軟管

可通入氣體：多種

最高電壓： -2800  DCV

機(jī)械泵：標(biāo)準(zhǔn)配置2L/S（國(guó)產(chǎn)VRD-8）

特點(diǎn)：

1、簡(jiǎn)單、經(jīng)濟(jì)、可靠、外觀精美。

2、可調(diào)節(jié)濺射電流和真空室壓強(qiáng)以控制鍍膜的速率和顆粒的大小。

3、SETPLASMA手動(dòng)啟動(dòng)按鈕可預(yù)先設(shè)置好壓強(qiáng)和濺射電流避免對(duì)膜造成不必要的損傷。

4、真空保護(hù)可避免真空過(guò)低造成設(shè)備短路。

5、同時(shí)可以通過(guò)更換不同的靶材（金、鉑、銥、銀、銅等），以達(dá)到更細(xì)顆粒的涂層。

6、通過(guò)通入不同的惰性氣體以達(dá)到更純凈的涂層。

7、涂層牢固，特別適用于非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極制作和半導(dǎo)體材料的研究。

MKY-SD-3000 離子濺射儀