ULVAC 射頻電源 RFS-1350LH 13.56MHz 5000W RF Generator 射頻發(fā)生器通過采用高效率的射頻放大器，使設(shè)備整體結(jié)構(gòu)緊湊，重量輕，自帶自動匹配控制器功能，功率控制和匹配系統(tǒng)控制可與主機(jī)單獨(dú)進(jìn)行。主要應(yīng)用領(lǐng)域包括濺射和化學(xué)汽相淀積、等離子體刻蝕、射頻離子源、中和劑等。

ULVAC射頻電源 RFS Series 特點(diǎn)

功率范圍：0.5kW ~ 5kW

采用高效放大器：通過具有良好的功率轉(zhuǎn)換效率的射頻電路結(jié)構(gòu)，節(jié)約能源

高速自動匹配：用高速算法實(shí)現(xiàn)高速自動匹配

射頻功率發(fā)生器內(nèi)部配備了自動匹配功能：與發(fā)電機(jī)組本身匹配的系統(tǒng)控制是可能的，還能手動操作射頻功率發(fā)生器和匹配箱，配合內(nèi)部控制器操作

支持靈活的控制配置：可對外進(jìn)行模擬和串行通信控制

高可靠性：設(shè)計(jì)中結(jié)合了多年的設(shè)備制造經(jīng)驗(yàn)

ULVAC 射頻電源 RFS-1350LH 13.56MHz 5000W RF Generator 規(guī)格

AC 輸入：AC200V~220V，3 phase，50/60Hz

輸入功率/電流：≤8 kva / ≤30 A

RF 輸出：5000W，13.56MHz，50 Ohm

Max反射波功率：500W

控制精度：額定輸出±2%以下

散熱設(shè)計(jì)：水冷散熱

水冷進(jìn)水需求：6L/min

尺寸大?。?80 * 500 * 150 mm

設(shè)備重量：23kg