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ULVAC RFS-1350LH ULVAC 射頻電源 RFS-1350LH 13.56MHz 5000W

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司
  • 品牌 ULVAC/日本愛發(fā)科
  • 型號 ULVAC RFS-1350LH
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間 2023/11/24 10:59:06
  • 訪問次數(shù) 392

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      神州科技是中國地區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)線電源系統(tǒng)服務(wù)廠商,位于江蘇省揚(yáng)州市維揚(yáng)開發(fā)區(qū),現(xiàn)有員工300人,工程師230人,模擬測試線20條,已建成完整全面的高精度,高功率:直流、射頻、微波、網(wǎng)絡(luò)匹配器、遠(yuǎn)程等離子發(fā)生器 等綜合測試平臺,是國家火炬計(jì)劃項(xiàng)目《等離子電源研發(fā),應(yīng)用平臺建設(shè)》承接單位。公司業(yè)務(wù)遍及亞洲,于日本、新加坡、韓國分設(shè)辦事處。

      神州科技為芯片產(chǎn)線,光伏產(chǎn)線,液晶面板制造產(chǎn)線,工業(yè)玻璃鍍膜產(chǎn)線,LED新光源產(chǎn)線,以及醫(yī)療、科研真空,各類高科技產(chǎn)業(yè)等離子系統(tǒng)提供電源系統(tǒng)的維修,備件支持,設(shè)備租憑服務(wù)。神州團(tuán)隊(duì)嚴(yán)謹(jǐn)創(chuàng)新,高效熱誠,服務(wù)世界半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。








電源維修,二手電源設(shè)備銷售,直流電源,射頻電源,脈沖電源,自動網(wǎng)絡(luò)匹配器,遠(yuǎn)程等離子發(fā)生器,分子泵離子泵,干泵冷泵

供貨周期 現(xiàn)貨 貨號 WX6929
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,電子/電池,電氣,綜合 主要用途 RF GENERATOR
型號 RFS-1350LH L/N WX6929
頻率 13.56MHz 輸出功率 5000W
設(shè)備狀態(tài) Refurblished

ULVAC 射頻電源 RFS-1350LH 13.56MHz 5000W RF Generator 射頻發(fā)生器通過采用高效率的射頻放大器,使設(shè)備整體結(jié)構(gòu)緊湊,重量輕,自帶自動匹配控制器功能,功率控制和匹配系統(tǒng)控制可與主機(jī)單獨(dú)進(jìn)行。主要應(yīng)用領(lǐng)域包括濺射和化學(xué)汽相淀積、等離子體刻蝕、射頻離子源、中和劑等。


ULVAC射頻電源 RFS Series 特點(diǎn)

功率范圍:0.5kW ~ 5kW

采用高效放大器:通過具有良好的功率轉(zhuǎn)換效率的射頻電路結(jié)構(gòu),節(jié)約能源

高速自動匹配:用高速算法實(shí)現(xiàn)高速自動匹配

射頻功率發(fā)生器內(nèi)部配備了自動匹配功能:與發(fā)電機(jī)組本身匹配的系統(tǒng)控制是可能的,還能手動操作射頻功率發(fā)生器和匹配箱,配合內(nèi)部控制器操作

支持靈活的控制配置:可對外進(jìn)行模擬和串行通信控制

高可靠性:設(shè)計(jì)中結(jié)合了多年的設(shè)備制造經(jīng)驗(yàn)


ULVAC 射頻電源 RFS-1350LH 13.56MHz 5000W RF Generator 規(guī)格

AC 輸入:AC200V~220V,3 phase,50/60Hz

輸入功率/電流:≤8 kva / ≤30 A

RF 輸出:5000W,13.56MHz,50 Ohm

Max反射波功率:500W

控制精度:額定輸出±2%以下

散熱設(shè)計(jì):水冷散熱

水冷進(jìn)水需求:6L/min

尺寸大?。?80 * 500 * 150 mm

設(shè)備重量:23kg



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