ULVAC RFS-1305A ULVAC射頻電源 RFS-1305A 13.56MHz 500W
- 公司名稱 江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司
- 品牌 ULVAC/日本愛發(fā)科
- 型號 ULVAC RFS-1305A
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2023/11/24 11:00:35
- 訪問次數(shù) 392
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電源維修，二手電源設(shè)備銷售，直流電源，射頻電源，脈沖電源，自動網(wǎng)絡(luò)匹配器，遠(yuǎn)程等離子發(fā)生器，分子泵離子泵，干泵冷泵
| 供貨周期 | 現(xiàn)貨 | 貨號 | 06170372 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子/電池,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 型號 | RFS-1305A | L/N | 06170372 |
| 頻率 | 13.56MHz | 輸出功率 | 500W |
| 設(shè)備狀態(tài) | Refurblished |
ULVAC射頻電源 RFS-1305A 13.56MHz 500W RF Generator 射頻發(fā)生器通過采用高效率的射頻放大器，使設(shè)備整體結(jié)構(gòu)緊湊，重量輕，自帶自動匹配控制器功能，功率控制和匹配系統(tǒng)控制可與主機單獨進行。主要應(yīng)用領(lǐng)域包括濺射和化學(xué)汽相淀積、等離子體刻蝕、射頻離子源、中和劑等。
ULVAC射頻電源 RFS Series 特點
采用高效放大器：通過具有良好的功率轉(zhuǎn)換效率的射頻電路結(jié)構(gòu)，節(jié)約能源
高速自動匹配：用高速算法實現(xiàn)高速自動匹配
射頻功率發(fā)生器內(nèi)部配備了自動匹配功能：與發(fā)電機組本身匹配的系統(tǒng)控制是可能的，還能手動操作射頻功率發(fā)生器和匹配箱，配合內(nèi)部控制器操作
支持靈活的控制配置：可對外進行模擬和串行通信控制
高可靠性：設(shè)計中結(jié)合了多年的設(shè)備制造經(jīng)驗
ULVAC射頻電源 RFS-1305A 13.56MHz 500W RF Generator 規(guī)格
AC 輸入：AC200V~220V，1 phase，50/60Hz
RF 輸出：500W，13.56MHz，50 Ohm
Max反射波功率：100W
控制精度：額定輸出±2%以下
散熱設(shè)計：風(fēng)冷散熱
尺寸大?。?40 * 495 * 150 mm
設(shè)備重量：11kg
采購中心
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