日本Atomax噴嘴在半導體制造領域的使用示例

行業(yè)使用示例[半導體/電子零件制造]

Atmax噴嘴在半導體制造領域的使用示例

精密涂層

由于可以精確地霧化和噴射少量液體，因此可以在半導體和電子零件的制造過程中通過噴涂形成薄膜。
與其他噴涂系統(tǒng)相比，噴涂易于控制，設備配置也很簡單。其特點是一個噴嘴具有從厚涂層到薄膜的各種條件。

精密設備清洗

尖銳的粒度分布使其適用于需要精確度的精確清潔。由于霧化所需的壓縮氣體的流速小于常規(guī)噴嘴的流速，因此Atmax噴嘴的沖擊小且噴射速度低。

使用*的液體劑進行涂層工作

有兩個主要組成部分。標準噴嘴材料是SUS316L，因為它是非常簡單的組件結構，但是可以使用與使用環(huán)境相匹配的材料進行制造。另外，在接液部分不使用O形圈。

使用細顆粒的加工工作

可以容易地連續(xù)注入包含固體的漿液。為了通過噴霧獲得霧化，從小孔口噴霧是普遍的理論，但是Atmax噴嘴能夠霧化大直徑的噴霧。

日本Atomax噴嘴在半導體制造領域的使用示例

Atmax噴嘴AM型

Atmax Nozzle AM型噴嘴能夠精確地噴灑非常少量的液體藥劑，并獲得平均粒徑約為5μm的細顆粒。它是一個非常小的噴嘴，可以在20至750瓦的空氣壓縮機中運行。