一、選型概述
Atomax AM系列二流體噴嘴專為高精度噴涂需求設(shè)計(jì),適用于半導(dǎo)體、電子元件、醫(yī)療設(shè)備、功能性薄膜及滅菌消毒等領(lǐng)域。該系列通過精密霧化技術(shù),可生成超細(xì)顆粒(低可達(dá)微米級),實(shí)現(xiàn)均勻、可控的薄膜沉積。選型時(shí)需綜合考慮噴涂精度、流量范圍、液體特性及工藝要求。
二、型號特性與適用場景
1. AM6型(超微量精密噴涂)
核心特點(diǎn):極小流量設(shè)計(jì),霧化顆粒極細(xì),適合納米級薄膜沉積。
適用場景:
半導(dǎo)體晶圓的光刻膠、介電層噴涂
電子元件(如PCB、MEMS)的納米級功能涂層
實(shí)驗(yàn)室級高精度材料沉積
適配要求:
推薦搭配低功率壓縮機(jī)(20-750W)
適合低粘度液體(<30cP)
2. AM12型(微量高精度噴涂)
核心特點(diǎn):在保持超細(xì)霧化的同時(shí),提供更穩(wěn)定的微量液體控制。
適用場景:
電子元件超薄膜層(厚度<1μm)
光學(xué)鍍膜、傳感器敏感層噴涂
要求高均勻性的R&D實(shí)驗(yàn)
適配要求:
需配合精密流量控制系統(tǒng)(±0.1μl/min級)
適合中等揮發(fā)性液體
3. AM25型(精密噴霧,兼顧效率)
核心特點(diǎn):平衡霧化精度與流量范圍,適合中等噴涂需求。
適用場景:
醫(yī)療設(shè)備(如支架、植入物)的功能性涂層
工業(yè)級薄膜沉積(如太陽能電池、柔性電路)
科研領(lǐng)域的可控材料噴涂
適配要求:
可處理稍高粘度液體(<50cP)
需中高壓氣源支持
4. AM45型(高精度廣域噴涂)
核心特點(diǎn):在保持精細(xì)霧化(~5μm)的同時(shí),覆蓋更大面積。
適用場景:
無塵室表面滅菌(如過氧化氫霧化)
大面積功能性涂層(如抗菌薄膜)
工業(yè)設(shè)備防護(hù)層噴涂
適配要求:
適合中高流量需求
需驗(yàn)證與腐蝕性液體的兼容性
三、選型關(guān)鍵因素
1. 噴涂精度需求
納米級薄膜:優(yōu)先AM6或AM12
微米級均勻涂層:AM25或AM45更高效
2. 液體特性
低粘度(<30cP):AM6/AM12最佳
中高粘度(30-50cP):AM25/AM45更合適
腐蝕性/揮發(fā)性液體:需確認(rèn)噴嘴材質(zhì)兼容性(如PTFE襯里)
3. 工藝參數(shù)匹配
極小流量(<5ml/min):選擇AM6/AM12
中等流量(5-20ml/min):AM25更優(yōu)
大面積噴涂:AM45效率更高
4. 環(huán)境與系統(tǒng)要求
潔凈室應(yīng)用:需選擇低顆粒釋放型號(如AM6)
自動(dòng)化集成:確認(rèn)噴嘴的機(jī)械接口(如螺紋規(guī)格)
氣壓需求:高精度噴涂通常需穩(wěn)定氣壓(0.2-0.5MPa)
四、選型流程建議
明確需求:
目標(biāo)涂層厚度、均勻性要求
液體屬性(粘度、揮發(fā)性、腐蝕性)
噴涂面積與產(chǎn)能要求
初步篩選:
根據(jù)流量和精度鎖定1-2個(gè)候選型號
驗(yàn)證測試:
進(jìn)行霧化均勻性測試(如基板沉積觀察)
評估長期運(yùn)行穩(wěn)定性(≥8小時(shí)連續(xù)噴涂)
廠商對接:
提供液體參數(shù)和工藝細(xì)節(jié),獲取定制建議
必要時(shí)申請樣品進(jìn)行實(shí)際工況測試
五、維護(hù)與優(yōu)化建議
定期清洗:防止噴嘴堵塞(尤其用于高固含量液體時(shí))
參數(shù)校準(zhǔn):長期使用后需重新優(yōu)化氣壓/流量比
升級選項(xiàng):高磨損場景可選用耐磨材質(zhì)噴嘴(如陶瓷噴口)
六、結(jié)論
Atomax AM系列可滿足從實(shí)驗(yàn)室級納米薄膜到工業(yè)級高精度噴涂的多樣化需求。選型時(shí)需以精度和液體兼容性為核心,結(jié)合流量與工藝要求選擇優(yōu)型號。
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