100um x 100 um掃描范圍的XY柔‘性導(dǎo)向掃描器

XY掃描器含系統(tǒng)二維彎曲及強力壓電堆疊，可使極小平面外移動形成較大的正交運動，并能快速響應(yīng)，實現(xiàn)精確的樣品納米級掃描。

 柔性導(dǎo)向強力Z掃描器在強力壓電堆疊的驅(qū)動及彎曲結(jié)構(gòu)的引導(dǎo)下，其硬度允許掃描器高速豎直運動，較傳統(tǒng)原子力顯微鏡掃描器更加高速。大Z型掃描范圍搭配遠程Z掃描器（選配）可延長12μm至25μm。

 滑動連接的超亮二極管頭

通過將原子力顯微鏡頭沿楔形軌道滑動，可輕松將其插入或取出。低相干的超發(fā)光二極管頭可實現(xiàn)高反射表面的精確成像和力-矩光譜的精確測量。超亮二極管頭的波長幫助減輕干擾問題，因此用戶在可見光譜實驗中也可使用本產(chǎn)品。

 多樣品夾頭

特殊設(shè)計的多樣品夾頭，做多可承載16個獨立樣品，由多重采樣掃描器自動按順序掃描。特殊的夾頭設(shè)計為接觸樣品針尖預(yù)留了邊通道。

 選配編碼器的XY自動樣品載臺

自動集成XY載臺可輕松并精確控制樣品的測量位置。XY樣品載臺的行程范圍可配置為150 mm x 150 mm或200 mm x 200 mm。若搭配自動載臺使用編碼器，可提高樣品定位的精確度和重復(fù)性。編碼XY載臺工作時分辨率為1 μm，重復(fù)率為2 μm。編碼Z載臺的分辨率為0.1 μm，重復(fù)率為1 μm。

 高分辨率數(shù)碼變焦感光元件攝像頭

高分辨率數(shù)碼感光元件攝像頭利用直接同軸光學，具備變焦功能，無論是否搖攝均可確保圖像具有清晰的成像質(zhì)量。

垂直對齊的自動Z載臺及聚焦載臺

Z載臺和聚焦載臺可將懸臂嚙合到樣品表面上，同時確保用戶視野清晰穩(wěn)定。聚焦載臺是由軟件控制自動運行的，因此滿足透明樣品及液態(tài)元件應(yīng)用所需精度。

彎曲基底解耦XY和Z掃描器

Z掃描器與XY掃描器*解耦。XY掃描器在水平面上移動樣品，同時Z掃描器豎直移動探針。

Park XE15 原子力顯微鏡?此配置以小異面移動，實現(xiàn)了平板式XY掃描。此XY掃描同時還具有高正交性與線性。

業(yè)內(nèi)低本底噪聲

Park XE15 原子力顯微鏡?為探測小樣品的特性，幫助快運動平面成像，Park Systems設(shè)計了業(yè)內(nèi)0.5?以下的低本底噪聲標準設(shè)備。使用“零掃描”探測本地噪聲數(shù)據(jù)。