產(chǎn)品功能
     ZLM800微位移測(cè)量激光干涉儀主要用于微位移部件的測(cè)量、角度變化量的監(jiān)測(cè)、移動(dòng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)情況的檢測(cè)、光刻機(jī)幾何量的測(cè)量、數(shù)控機(jī)床幾何量的測(cè)量等，多可實(shí)現(xiàn)六軸聯(lián)動(dòng)。也可通過位移+偏擺+俯仰的三角關(guān)系測(cè)量檢測(cè)物體的振動(dòng)變化。

性能優(yōu)勢(shì)
l  ZLM800微位移測(cè)量激光干涉儀頻差為640MHz。請(qǐng)用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”概念的區(qū)別，*雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。世界范圍內(nèi)只有兩家雙頻激光干涉儀的生產(chǎn)商，德國耶拿爾公司是其中的一家。
l          全部部件皆在德國生產(chǎn)制造，絕非為了降低成本而在第三方國家進(jìn)行部件加工。光學(xué)組件全部采用蔡司光學(xué)鏡，是世界上一家將的蔡光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。
l           激光器壽命更長，可達(dá)20000小時(shí)，激光穩(wěn)頻精度高，一小時(shí)內(nèi)為±0.002ppm，在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達(dá)±0.02ppm。
l          干涉鏡采用差分干涉原理，系統(tǒng)精度更高，可達(dá)±0.4ppm。
l          計(jì)算機(jī)輔助光路調(diào)整，調(diào)整結(jié)果更準(zhǔn)確。
l          采樣頻率更快，高達(dá)1MHz，可在0.001Hz-1Ml        
l          信號(hào)延時(shí)<200ns；對(duì)電磁干擾不敏感。
l          對(duì)于多軸聯(lián)動(dòng)的復(fù)雜光路測(cè)量和微位移測(cè)量，ZLM800型是理想的選擇。