傳統(tǒng)的激光干涉儀通常需要在被測目標上設置靶鏡，以反射測量光線獲得高精度的測量結(jié)果。鐳測科技推出的的LY1000非接觸式激光干涉儀，無需靶鏡，僅利用待測工件反射甚至是散射的微弱光線即可實現(xiàn)高精度測量，是真正意義上的非接觸式測量。 LY1000非接觸式激光干涉儀除可用于傳統(tǒng)激光干涉儀適用的測量目標外，還可適合于微、小、輕、薄、毒、易變形等不適合安裝靶鏡的目標測量，如液面高度、半導體晶圓位置、微機械位移、材料膨脹系數(shù)、振動等。

    LY1000激光回饋干涉儀的分辨率可達納米量級，量程可達2m，如果加擴束鏡，可達數(shù)米。它同干涉儀一樣，測量結(jié)果可以溯源到光波長，從而無需標定。
產(chǎn)品由激光測頭、信號處理電箱和軟件組成。
        
以下是本產(chǎn)品*的技術(shù)或特點：

1、高靈敏度，可實現(xiàn)對非配合目標的非接觸式測量
2、準共路技術(shù)有效抑制儀器內(nèi)部環(huán)境變化引起的漂移，儀器具有較小的零漂。
3、具有較高的分辨率和較大量程，測量結(jié)果可以溯源。