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日立分析儀器(上海)有限公司

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Nicolet ECO 2000 FT-IR Metrology Tool

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服務科學,*--賽默飛世爾科技

賽默飛世爾科技(紐約證交所代碼: TMO)是科學服務領域的世界*。我們的使命是幫助客戶使世界更健康、更清潔、更安全。公司年銷售額130億美元,員工約39000人。主要客戶類型包括:醫(yī)藥和生物技術公司、醫(yī)院和臨床診斷實驗室、大學、科研院所和政府機構(gòu),以及環(huán)境與過程控制行業(yè)。借助于Thermo Scientific、Fisher Scientific和Unity™ Lab Services三個首要品牌,我們將創(chuàng)新技術、便捷采購方案和實驗室運營管理的整體解決方案相結(jié)合,為客戶、股東和員工創(chuàng)造價值。我們的產(chǎn)品和服務幫助客戶解決在分析領域所遇到的復雜問題與挑戰(zhàn),促進醫(yī)療診斷發(fā)展、提高實驗室生產(chǎn)力。欲了解更多信息,請瀏覽公司網(wǎng)站:www.thermofisher.com。

賽默飛世爾科技中國

賽默飛世爾科技進入中國發(fā)展已有30多年,在中國的總部設于上海,并在北京、廣州、香港、中國臺灣、成都、沈陽、西安、南京、武漢等地設立了分公司,員工人數(shù)超過2300名。我們的產(chǎn)品主要包括分析儀器、實驗室設備、試劑、耗材和軟件等,提供實驗室綜合解決方案,為各行各業(yè)的客戶服務。為了滿足中國市場的需求,現(xiàn)有5家工廠分別在上海、北京和蘇州運營。我們在北京和上海共設立了5個應用開發(fā)中心,將*的前沿技術和產(chǎn)品帶給國內(nèi)客戶,并提供應用開發(fā)與培訓等多項服務;位于上海的中國技術中心結(jié)合國內(nèi)市場的需求和*進技術,研發(fā)適合中國的技術和產(chǎn)品;我們擁有遍布全國的維修服務網(wǎng)點和特別成立的維修服務中心,在全國有超過400 名經(jīng)過培訓認證的、具有專業(yè)資格的工程師提供售后服務。我們致力于幫助客戶使世界更健康、更清潔、更安全。欲了解更多信息,請登錄www.thermofisher.cn。

欲了解更多信息,請登陸我們的網(wǎng)站:
www.thermofisher.cn(中國); www.thermofisher.com()

公司電子郵箱:analyze.cn@thermofisher.com

色譜,質(zhì)譜,原子吸收光譜儀;離子體發(fā)射光譜儀;離子體質(zhì)譜儀;直流電弧光譜儀;輝光放電質(zhì)譜儀;X射線熒光光譜儀;X射線衍射儀;紫外可見分光光度計;大型直讀光譜儀;直讀光譜儀;總氮分析儀;總硫分析儀;總氯分析儀;總有機碳分析儀;氣相色譜;液相色譜;氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用;液相色譜質(zhì)譜聯(lián)用;組合式質(zhì)譜;色譜柱及耗材;傅立葉紅外光譜;拉曼光譜;近紅外分析儀;thermo

Nicolet ECO 2000 FT-IR Metrology Tool


Designed for 200 mm SMIF carriers or manual loading of 100 mm to 200 mm wafers, the NicoletTM ECOTM 2000 measures dopant concentration levels in dielectric films (BPSG, PSG, FSG, etc.), hydrogen levels in silicon nitride films, epitaxial film thickness, MEMS device thickness, and substitutional carbon and interstitial oxygen levels in silicon wafers.
   Product Detail


Some of the highlights of the ECO 2000 include:
  • Compley automated wafer handling
  • Automated wafer centering and alignment using flats or notches
  • High throughput
  • Exceptionally stable and reproducible measurement results
  • Wafer contact using Teflon-coated vacuum holds on the backside only
  • Capable of measuring epitaxial film thickness from 300 nm to 7,500 nm
  • Powerful FT-IR software toolkit for custom recipe generation
  • SECS/GEM communications software
  • Compliant with SEMI S2 and S8 safety and ergonomic standards
  • Flexible measurement options from single point measurements to complete wafer mapping options
  • Transmission and reflectance measurement capability to accommodate the widest range of materials and films
  • Support of both ASTM and JEIDA standards
  • Class 2 cleanroom ready

The ECO 2000 maintains the proven low cost of ownership and high reliability of our long-running series of ECO tools. Founded on our base of expertise in FT-IR technology, the ECO 2000 is also at the top of its class in performance. Thermo is committed to offering the most expertise and the best possible tools for FT-IR metrology. The ECO 2000 is another affirmation of this commitment.

 

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