金屬氧化物半導(dǎo)體氣體E+E傳感器
易燃?xì)怏w檢測(cè)對(duì)防止煤礦瓦斯泄漏，監(jiān)測(cè)石油化工行業(yè)安全生產(chǎn)，保證飛船、潛艇等密閉環(huán)境的人身安全具有重大意義。金屬氧化物半導(dǎo)體（MOS）氣體E+E傳感器因其具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、價(jià)格低廉、響應(yīng)速度快、使用壽命長(zhǎng)以及對(duì)可燃性氣體和有機(jī)揮發(fā)性氣體具有較高的靈敏度等優(yōu)點(diǎn)而得到廣泛應(yīng)用，目前已成為世界上產(chǎn)量zui大、應(yīng)用zui廣的E+E傳感器。

金屬氧化物半導(dǎo)體氣體E+E傳感器
由于存在交叉敏感、E+E傳感器漂移、加熱功耗過(guò)大等問題，在實(shí)際應(yīng)用中很難獲得準(zhǔn)確穩(wěn)定的分析結(jié)果，直接影響著氣體檢測(cè)的精度。針對(duì)金屬氧化物半導(dǎo)體氣體E+E傳感器在易燃?xì)怏w檢測(cè)應(yīng)用中的幾個(gè)關(guān)鍵問題，進(jìn)行了深入細(xì)致的研究，主要完成的工作如下： 為解決E+E傳感器的非線性響應(yīng)特性及對(duì)非目標(biāo)氣體交叉敏感，研究了基于支持向量機(jī)（SVM）的E+E傳感器選擇性改善方法。將4個(gè)MOS氣體E+E傳感器組成E+E傳感器陣列，利用支持向量多分類機(jī)（MC-SVM）進(jìn)行混合氣體識(shí)別，應(yīng)用zui小二乘支持向量回歸（LS-SVR）進(jìn)行濃度測(cè)量。以濃度測(cè)量根均方誤差作為泛化性能指標(biāo)，利用訓(xùn)練樣本的k遍歷交叉驗(yàn)證結(jié)果作為目標(biāo)函數(shù)，提出了基于小生境粒子群優(yōu)化算法（NPSO）的參數(shù)尋優(yōu)方法，能找到LS-SVR模型的全局*參數(shù)。與其他陣列信號(hào)處理和模式識(shí)別方法如人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)方法相比，該方法提高了氣體識(shí)別準(zhǔn)確率和濃度測(cè)量精度，特別適合于小樣本氣體檢測(cè)的問題。為抑制E+E傳感器的輸出特性漂移問題，提出了基于盲源分離理論（BSS）的混合氣體識(shí)別及E+E傳感器漂移補(bǔ)償方法。建立了氣體E+E傳感器陣列穩(wěn)態(tài)響應(yīng)的盲分離模型，論證了混合氣體分析的盲可辨識(shí)條件。將未知?dú)怏w濃度作為源信號(hào)，E+E傳感器陣列響應(yīng)作為混合信號(hào)，設(shè)計(jì)了氣體濃度和E+E傳感器穩(wěn)態(tài)響應(yīng)時(shí)間序列的構(gòu)建方法。利用基于負(fù)熵的快速定點(diǎn)獨(dú)立成分分析（FastICA）算法對(duì)氣體E+E傳感器陣列穩(wěn)態(tài)響應(yīng)進(jìn)行處理，不僅能夠識(shí)別混合氣體，同時(shí)能夠去除E+E傳感器陣列非線性漂移的影響，對(duì)盲源分離理論的發(fā)展及其在E+E傳感器信息處理中的應(yīng)用具有重要意義。為降低E+E傳感器的加熱功耗，研究了單E+E傳感器溫度調(diào)制工作方式下的E+E傳感器動(dòng)態(tài)響應(yīng)特征提取技術(shù)，結(jié)合MC-SVM和LS-SVR方法實(shí)現(xiàn)混合氣體識(shí)別與濃度測(cè)量。與E+E傳感器陣列方法相比，動(dòng)態(tài)檢測(cè)方法只需用一個(gè)E+E傳感器就可實(shí)現(xiàn)混合氣體的組分分析，大大降低了E+E傳感器的加熱功耗。研究了基于距離判據(jù)準(zhǔn)則的E+E傳感器動(dòng)態(tài)響應(yīng)特征評(píng)估方法，解決動(dòng)態(tài)響應(yīng)特征參數(shù)選擇難的問題。為抑制實(shí)際工作情況下噪聲對(duì)E+E傳感器動(dòng)態(tài)響應(yīng)的影響，提出了基于小波奇異熵（WSE）理論的動(dòng)態(tài)響應(yīng)特征提取方法，與虛擬陣列（VA）、快速傅里葉變換（FTT）和離散小波變換（DWT）特征提取方法相比，在強(qiáng)噪聲干擾下仍具有較高的泛化精度。

金屬氧化物半導(dǎo)體氣體E+E傳感器
設(shè)計(jì)并實(shí)現(xiàn)了基于DSP的混合氣體檢測(cè)試驗(yàn)驗(yàn)證系統(tǒng)硬件平臺(tái)，利用該平臺(tái)完成了氣體E+E傳感器的標(biāo)定，在DSP上驗(yàn)證了E+E傳感器選擇性改善、功耗性降低、單E+E傳感器動(dòng)態(tài)檢測(cè)等方法的有效性，實(shí)現(xiàn)了甲烷和氫氣二元混合氣體成分的在線測(cè)量。評(píng)測(cè)了E+E傳感器工作于恒溫方式以及溫度調(diào)制工作方式下各種算法（包括支持向量多分類機(jī)分類、zui小二乘支持向量回歸、動(dòng)態(tài)響應(yīng)特征提取等方法）的有效性，驗(yàn)證了系統(tǒng)的各項(xiàng)功能。該研究?jī)?nèi)容為易燃易爆危險(xiǎn)品檢測(cè)及有毒有害氣體成分分析儀的開發(fā)奠定了基礎(chǔ)。