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Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TG800F

2025-06-20

產(chǎn)      地:
日本
所在地區(qū):
四川成都市
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Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TG800F

Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TG800F

渦輪分子泵(Turbomolecular Pump)是一種通過高速旋轉(zhuǎn)葉片與氣體分子動(dòng)量交換來實(shí)現(xiàn)抽氣作用的高真空泵。1958年由德國科學(xué)家貝克(W. Becker)研制成功,現(xiàn)已成為高真空和超高真空系統(tǒng)中最核心的抽氣設(shè)備之一。渦輪分子泵通過轉(zhuǎn)子葉片以超音速(通常300-600m/s)運(yùn)動(dòng),直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度,從而在進(jìn)氣口端產(chǎn)生高真空環(huán)境。

渦輪分子泵的典型應(yīng)用領(lǐng)域

(一)半導(dǎo)體制造

晶圓加工設(shè)備(刻蝕、離子注入等)

光刻機(jī)真空系統(tǒng)

半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備

(二)科學(xué)研究

高能物理實(shí)驗(yàn)裝置

表面分析儀器(XPS、AES等)

空間環(huán)境模擬設(shè)備

(三)分析儀器

質(zhì)譜儀

電子顯微鏡

同步輻射裝置

(四)特種工藝

分子束外延(MBE)

納米材料制備

精密光學(xué)鍍膜

(五)新興領(lǐng)域

量子計(jì)算研究

核聚變實(shí)驗(yàn)裝置

先進(jìn)材料研發(fā)

* 排放腐蝕性氣體時(shí),請(qǐng)選擇化學(xué)相容性 TG-M 或 TG 系列。

它可以從各個(gè)方向直接安裝在

設(shè)備上,具有靈活的安裝姿勢(shì)。 管道設(shè)計(jì)簡單,可實(shí)現(xiàn)高效排氣。

耐振動(dòng)性和耐加速性耐

振動(dòng)性,即使在泵運(yùn)行時(shí)也可以移動(dòng)。 我們有良好的記錄,即使在我們過去經(jīng)歷過的最大地震中也能重新啟動(dòng)。 它也可以安裝在運(yùn)動(dòng)部件上,例如排氣車和腔室門。

通過簡化緊湊的尺寸結(jié)構(gòu),

可以實(shí)現(xiàn)小型化和輕量化。

快速啟動(dòng)

更快,待機(jī)時(shí)間更短。

抗大氣進(jìn)入的結(jié)構(gòu)由于

它可以承受突然的壓力上升,因此對(duì)于因泄漏而快速停止、頻繁啟動(dòng)和停止以及反復(fù)進(jìn)入大氣也很有效。

可長期使用:

適當(dāng)檢修后可長期使用。 * 泵的設(shè)計(jì)壽命為 100,000 小時(shí)或更長時(shí)間

配備了一個(gè)符合 RS232C 標(biāo)準(zhǔn)的串行接口,能夠作為標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行串行通信。

符合安全標(biāo)準(zhǔn)的 NRTL/SEMI-S2/CE

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