Osaka Vacuum大阪真空 磁浮軸承型渦輪分子泵 TG427M

Osaka Vacuum大阪真空 磁浮軸承型渦輪分子泵 TG427M

渦輪分子泵（Turbomolecular Pump）是一種通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)葉片與氣體分子動(dòng)量交換來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣作用的高真空泵。1958年由德國(guó)科學(xué)家貝克（W. Becker）研制成功，現(xiàn)已成為高真空和超高真空系統(tǒng)中最核心的抽氣設(shè)備之一。渦輪分子泵通過(guò)轉(zhuǎn)子葉片以超音速（通常300-600m/s）運(yùn)動(dòng)，直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度，從而在進(jìn)氣口端產(chǎn)生高真空環(huán)境。

渦輪分子泵的典型應(yīng)用領(lǐng)域

（一）半導(dǎo)體制造

晶圓加工設(shè)備（刻蝕、離子注入等）

光刻機(jī)真空系統(tǒng)

半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備

（二）科學(xué)研究

高能物理實(shí)驗(yàn)裝置

表面分析儀器（XPS、AES等）

空間環(huán)境模擬設(shè)備

（三）分析儀器

質(zhì)譜儀

電子顯微鏡

同步輻射裝置

（四）特種工藝

分子束外延（MBE）

納米材料制備

精密光學(xué)鍍膜

（五）新興領(lǐng)域

量子計(jì)算研究

核聚變實(shí)驗(yàn)裝置

先進(jìn)材料研發(fā)

• 省電設(shè)計(jì)

• 運(yùn)行數(shù)據(jù)、觸地計(jì)數(shù)、型號(hào)信息等可以存儲(chǔ)在主機(jī)中 * 即使在大修期間更換控制器，也可以傳輸數(shù)據(jù)。

• 各種通信規(guī)格：并行 I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT

• 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)：NRTL/SEMI-S2/CE