產(chǎn)品型號(hào)

CY-PECVD-500T-SS

腔體尺寸

φ500

溫區(qū)長度

200

射頻電源

500W-

溫度

1000℃-

前級(jí)泵

分子泵組

顯示類型

T

溫區(qū)

I-

水冷機(jī)

CW5200

腔體材質(zhì)

SS

樣品加熱加熱溫度

RT-1000℃以上，溫控精度：±1°C，采用控溫表進(jìn)行控溫；

可調(diào)轉(zhuǎn)速：1-20rpm可調(diào)

噴淋頭尺寸

Φ90mm，噴淋頭與樣品之間電極間距40-100mm在線連續(xù)可調(diào)（可根據(jù)工藝調(diào)整），并帶有標(biāo)尺指數(shù)顯示

樣品臺(tái)

直徑200mm

沉積工作真空

0.133-133Pa（可根據(jù)工藝調(diào)整）

頂部法蘭

可通過馬達(dá)提升，基板更換方便，有可視口

基板臺(tái)

基板臺(tái)的線性和方位角運(yùn)動(dòng)，基板加熱和溫度控制，安裝臺(tái)和觸摸屏控制，基板線性運(yùn)動(dòng)是手動(dòng)控制的，基板旋轉(zhuǎn)是由直流電動(dòng)機(jī)控制的

真空腔體

前開門式，φ500mm X 500mm 不銹鋼材質(zhì)

觀察窗

φ100mm 帶擋板

質(zhì)量流量計(jì)

六路質(zhì)量流量計(jì)

氣路數(shù)量

六路

承壓范圍

-0.15Mpa~0.15Mpa

量程

0~100 SCCM（氧氣）

0~100 SCCM（CF4）

0~200 SCCM （SF6）

0~200 SCCM （氬氣）

0~500 SCCM （其他氣體空氣）

0-500sccm （其他氣體氮?dú)猓?/span>

流量控制范圍

±1.5%

氣路材料

304不銹鋼

管道接口

6.35mm卡套接頭

真空系統(tǒng)

前級(jí)泵：無油真空泵4.7L/S

分子泵：1200L/S

測量范圍

1×10-5～1×105Pa

測量精度

1×10-5～1×10-4Pa ±40%的讀數(shù)

1×10-4～1×105Pa ±20%的讀數(shù)