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項目名稱:8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線之離子束刻蝕機,項目編號:0709-244035614023,招標范圍:設備名稱:離子束刻蝕機 設備數(shù)量:1臺 設備用途:主要用于8英寸MEMS工藝中的金屬膜層(Au、Ti)的刻蝕加工。招標機構:中國儀器進出口集團有限公司,招標人:安徽華鑫微納集成電路有限公司
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