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臺階儀設(shè)備中標結(jié)果公告
2023年07月10日 11:44:40
來源：機電產(chǎn)品招標投標電子交易平臺 點擊量：4916
項目名稱：北京懷柔實驗室2023年第四批科研設(shè)備采購項目，項目編號：1495-234thhrlab04/03，招標范圍：產(chǎn)品名稱：臺階儀設(shè)備 數(shù)量：2臺 簡要技術(shù)規(guī)格：臺階儀是一種半導(dǎo)體芯片過程檢測設(shè)備，具體規(guī)格如下： 1）臺階儀1臺，用于金屬前道工藝量測硅片表面介質(zhì)膜干法刻蝕的臺階，重復(fù)性≤0.45埃； 2）臺階儀1臺，用于金屬后道工藝量測硅片表面介質(zhì)膜濕法腐蝕的臺階，重復(fù)性≤0.45埃。招標機
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項目名稱：北京懷柔實驗室2023年第四批科研設(shè)備采購項目
項目編號：1495-234thhrlab04/03
招標范圍：產(chǎn)品名稱：臺階儀設(shè)備 數(shù)量：2臺 簡要技術(shù)規(guī)格：臺階儀是一種半導(dǎo)體芯片過程檢測設(shè)備，具體規(guī)格如下： 1)臺階儀1臺，用于金屬前道工藝量測硅片表面介質(zhì)膜干法刻蝕的臺階，重復(fù)性≤0.45埃； 2)臺階儀1臺，用于金屬后道工藝量測硅片表面介質(zhì)膜濕法腐蝕的臺階，重復(fù)性≤0.45埃。
招標機構(gòu)：天恒招標有限公司
招標人：北京懷柔實驗室
開標時間：2023-06-30 09:30
公示時間：2023-07-03 17:14 - 2023-07-06 23:59
中標結(jié)果公告時間：2023-07-07 14:24
中標人：瑞德儀實業(yè)有限公司
制造商：Bruker Nano Inc.
制造商國家或地區(qū)：馬來西亞
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