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始創(chuàng)于1949年日本,主要從事半導(dǎo)體加工設(shè)備制造及精密測量儀器制造及開發(fā)的企業(yè),其產(chǎn)品應(yīng)用于航空航天、芯片制造行業(yè),于1994年進入國內(nèi)市場
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