KASHIYAMA日本樫山真空泵MU100XE的特點

無油潔凈：采用無油干式設(shè)計，無需油封，避免了油蒸汽對環(huán)境和工藝的污染，特別適合在對潔凈度要求的潔凈室環(huán)境以及敏感工藝中使用，如半導(dǎo)體制造、液晶顯示器生產(chǎn)、LED 制造和光伏產(chǎn)業(yè)等。

高抽速、低能耗：運用優(yōu)化的 Roots 轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)，能提供高達 1660L/min 的穩(wěn)定抽速，可滿足中高負載的真空需求。同時配備低功耗電機，運行能效比優(yōu)于同類產(chǎn)品，功率約 0.25kW，在實現(xiàn)高效抽氣的同時降低了能耗。

結(jié)構(gòu)緊湊：尺寸為 450×230×275mm，體積小巧，重量約 60kg，占地面積小，便于集成到空間受限的自動化設(shè)備或成套系統(tǒng)中，適合設(shè)備集成和改造項目。

維護便捷：部件壽命長，維護周期長，且采用易于維護的設(shè)計，降低了維護成本和停機時間，能有效減少運營成本。

適配性強：可兼容多種工藝氣體環(huán)境，適用于化學(xué)氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）、刻蝕、封裝等多種半導(dǎo)體及相關(guān)行業(yè)的工藝流程，具有很強的通用性和適應(yīng)性。