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自動拼圖軟件(AIM)在SEM大景深樣品拍攝中的應用

來源:復納科學儀器(上海)有限公司   2016年05月13日 15:36  

自動拼圖軟件(AIM)在SEM大景深樣品拍攝中的應用

 

1 自動拼圖軟件界面

 

自動拼圖(Automated Image Mapping)軟件(圖1)選件是飛納電鏡的又一功能強大的實用軟件。其主要優(yōu)勢總結如下:

  • 大范圍內(nèi)自動收集多張圖片
  • 生成大面積視野的圖片
  • 自動生成高分辨率、高清晰度大圖
  • 操作簡單,選擇區(qū)域然后掃描即完成

 

以下舉例說明其各個優(yōu)勢及其應用場合:

  • 大范圍多張圖片的收集對于ParticleMetric顆粒系統(tǒng)、PoroMetric 孔洞系統(tǒng)的作用

 

下圖2(a) 是顆粒樣品的AIM拼圖結果,這張圖的分辨率達到了9631×6683,占用空間達到了31.8Mb,采用70張圖拼成,單張圖片的效果見圖2(b)。此圖只需要選好區(qū)域之后,軟件自動生成即可。顆粒系統(tǒng)和孔洞系統(tǒng)軟件可以把 AIM 的結果全部導入,一次zui多自動處理1000張圖片,統(tǒng)計顆?;蚩锥吹牡闹睆?、圓度等數(shù)據(jù),自動生成統(tǒng)計報告。

(a)

(b)

2 (a) 自動拼圖軟件結果 (b)拼圖中捕捉到的單張圖片

 

  • 大面積視野的圖片對于尋找目標特征點的意義

 

3 尋找大視野范圍的特征物

 

3所示為珊瑚砂樣品,為了尋找其中的特征物,我們對可能存在的局部進行了自動拼圖,完成后結果一目了然,即可輕易地辨認其中的海洋生物化石。同樣的功能也可以應用在雜質的尋找方面,公司的產(chǎn)品質控部門往往需要找到雜質的位置,而微觀的雜質尋找需要耗費大量的人力,有了AIM軟件,便不需要借助光學顯微鏡數(shù)小時的尋找,只需選擇目標區(qū)域,軟件自動找尋。

 

  • 高分辨高清大圖對于大景深樣品拍照的作用

 

(a)

(b)

4 金屬斷口樣品的AIM拼圖結果 (a) AIM拼圖界面 (b) 局部的單圖

 

4 中顯示了AIM在斷口類大景深樣品中的應用,由于AIM的跟蹤對焦功能和跟蹤自動亮度對比度功能,可以實現(xiàn)樣品在凹凸起伏較大的情況下,不同的局部不同的焦距,zui終使樣品在大圖中的各個位置均非常清楚。這樣就有效避免了電鏡拍攝時大景深模式帶來的清晰度損失,以及景深過大導致的局部清晰、局部模糊的情況。

5 自動拼圖軟件工作原理示意圖

 

5 AIM自動拼圖軟件跟蹤對焦(Follow Focus)的工作原理示意圖,可以清晰地看到,當樣品表面高低起伏時,BSD探頭可以根據(jù)焦距的變化自動優(yōu)化焦距和亮度對比度,從位置1移動到位置2的過程中,不需要人為干預,自動給出*清晰度和顯示效果的圖片。在每張小圖都可以獲得*分辨率的前提下,zui終拼出來的大圖效果才會是、*、高清大圖。

 

zui后,不得不提的是,作為一款如此精品的軟件,價格卻是0元,*免費!只要配備了prosuite軟件套裝里的其他任何一款軟件,本軟件免費贈送。

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