尺寸

·                                 1250mm (長) x 780mm (深) x 900mm (高)

·                                 1500mm (長) x 780mm (深) x 900mm (高)

·                                 1800mm (長) x 780mm (深) x 900mm (高)

箱體參數(shù)

·                                 箱體主材質(zhì)為304不銹鋼

·                                 2個DN 40 KF 接頭，包括1個標準電源接口

·                                 灰塵過濾器，1個安裝在進氣口，1個安裝在出氣口， H13級

·                                 PC材質(zhì)的前窗玻璃（其它材質(zhì)可選）

·                                 4mm厚的手套（其它尺寸和材質(zhì)的手套可選）

·                                 POM手套孔圈，口徑為220mm

·                                 前置式照明系統(tǒng)

·                                 擱物架高度可調(diào)(1000mm (長) x 220mm (深)

·                                 整體泄漏率 <0.05 vol%h (符合 ISO 10648-2標準)

·                                 自重 400/550 kg

大過渡艙參數(shù)

·                                 圓柱形結構，帶有不銹鋼滑盤

·                                 內(nèi)徑390mm，長600mm

·                                 304不銹鋼材質(zhì)結構

·                                 艙門，氣動控制（氣彈簧）

·                                 手動抽真空模式（自動模式可選）

·                                 整體泄漏率 <10^-5 mbar l/s

氣體凈化系統(tǒng)參數(shù)

·                                 單個凈化柱

·                                 可得氣體純度 H₂O < 1 ppm, O₂ < 1 ppm

·                                 真空泵

·                                 電磁閥

·                                 自動再生功能

·                                 304不銹鋼管路

控制器參數(shù)

·                                 集成式控制器

·                                 自動壓力控制 (+15 mbar, -15 mbar)，帶有腳踏板