超聲波流量計(jì)主要應(yīng)用在半導(dǎo)體制造裝置內(nèi)，涂布藥液的流量管理。它是一種用于檢測(cè)半導(dǎo)體制造裝置內(nèi)，涂布藥液的流量管理的一種測(cè)量?jī)x器，此種儀器的特性是配管兩端裝有超聲波探頭，相互進(jìn)行收發(fā)信號(hào)，測(cè)定各自傳播時(shí)間；順流的超聲波會(huì)很快到達(dá)，相反逆向的超聲波則會(huì)較晚達(dá)到，根據(jù)傳播時(shí)間算出流速，并通過(guò)流速算出流量。

　　超聲波流量計(jì)要定期維護(hù)
較之其他流量計(jì)而言，超聲波流量計(jì)的維護(hù)量是比較小的。如對(duì)于外貼換能器超聲波流量計(jì)，安裝以后無(wú)水壓損失，無(wú)潛在漏水，只需定期檢查換能器是否松動(dòng)，與管道之間的粘合劑是否良好即可;插入式超聲波流量計(jì)，要定期清理探頭上沉積的雜質(zhì)、水垢等有無(wú)漏水現(xiàn)象;一體式超聲波流量計(jì)，要檢查流量計(jì)與管道之間的法蘭鏈接是否良好，并考慮現(xiàn)場(chǎng)溫度和濕度對(duì)其電子部件的影響，等待。定期維護(hù)可以確保超聲波流量計(jì)的長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行?，F(xiàn)在就來(lái)實(shí)行吧，儀器儀表的維護(hù)保養(yǎng)時(shí)一個(gè)長(zhǎng)期的過(guò)程，其他儀器儀表也是同理。

　　超聲波流量計(jì)要及時(shí)校驗(yàn)
對(duì)于現(xiàn)場(chǎng)安裝固定式超聲波流量計(jì)數(shù)量大、范圍廣的用戶(hù)來(lái)講，可以配備一臺(tái)同類(lèi)型的便攜式超聲波流量計(jì)，用于核?，F(xiàn)場(chǎng)儀表的情況。一是堅(jiān)持一裝一校，即對(duì)每一臺(tái)新裝超聲波流量計(jì)在安裝調(diào)試時(shí)進(jìn)行核校，確保選位好、安裝好、測(cè)量準(zhǔn);二是對(duì)在線運(yùn)行的超聲波流量計(jì)發(fā)生流量突變時(shí)，要利用便攜式超聲波流量計(jì)進(jìn)行及時(shí)核校，查清流量突變的原因，弄清楚是儀表發(fā)生故障還是流量確實(shí)發(fā)生了變化。這樣就可以監(jiān)測(cè)流量計(jì)的使用狀況，進(jìn)而可以檢查到問(wèn)題，再進(jìn)行維護(hù)。

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