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凈化工作臺(tái)及過濾器在芯片廠中的應(yīng)用
我們都知道粘在集成電路上的粉塵可能造成斷路、短路，粉塵直接影響一些配件產(chǎn)品的成品率。當(dāng)今，半導(dǎo)體工業(yè)(芯片廠)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境空氣潔凈程度高挑剔，對(duì)空氣過濾器的要求也苛刻，生產(chǎn)操作基本都是在潔凈工作室中凈化工作臺(tái)中操作。
衡量芯片集成度的指標(biāo)之一是“線寬”，即電路上導(dǎo)線的寬度。在以微米計(jì)算線寬的年代，人們說(shuō)制造環(huán)境對(duì)粉塵粒徑的限制是小于線寬的 1/10，隨著線寬不斷變小，1/10之說(shuō)又變成了1/4、1/2。2002年，普通微機(jī)中P4處理器的線寬縮小到了0.13mm，此時(shí)任何粉塵都可能損害電路，粒徑與線寬的傳統(tǒng)比較已經(jīng)過時(shí)了。
芯片廠傳統(tǒng)的通風(fēng)形式是“大循環(huán)”，車間的整個(gè)天花板上布滿過濾器，整個(gè)地面為回風(fēng)柵板?，F(xiàn)在芯片廠有些車間使用自帶風(fēng)機(jī)的過濾裝置， 即FFU。大循環(huán)和FFU兩種形式都能達(dá)到足夠的潔凈度，只是在運(yùn)行管理和能耗上有所差異。
不論是普通過濾器還是FFU，出廠前都要經(jīng)過逐臺(tái)掃描測(cè)試。目前沒有掃描測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)，能擠進(jìn)芯片廠的過濾器是按歐美標(biāo)準(zhǔn)對(duì)過濾器進(jìn)行掃描測(cè)試的。芯片廠的人認(rèn)為，過濾器傳統(tǒng)檢驗(yàn)方法用的試驗(yàn)粉塵本身就是污染源，所以芯片廠不買鈉焰法和DOP法的帳。
空氣中的海鹽粒子是所有電子工業(yè)的大敵，但空氣中海鹽粉塵的顆粒比較大， 普通過濾器就能將其過濾掉。有人說(shuō)搞電子工業(yè)的理想地點(diǎn)應(yīng)該遠(yuǎn)離海岸，可沿海地區(qū)經(jīng)濟(jì)發(fā)達(dá)，芯片廠一窩蜂似的就建在了沿海地區(qū)，在過濾器上多花點(diǎn)錢就是了。20世紀(jì)90年代初，曾對(duì)過濾器玻纖濾紙的含硼問題爭(zhēng)吵了一陣，隨后，過濾器的微量揮發(fā)元素成了芯片廠關(guān)注的事情。近幾年，出現(xiàn)了聚四氟乙烯纖維過濾材料，這種材料沒有揮發(fā)物，但它是帶靜電的“駐體”，少了個(gè)隱患，多了個(gè)麻煩，過濾后的空氣要進(jìn)行電中和以消除空氣中的離 子。目前這種材料的偏高，大部分過濾器仍使用玻璃纖維濾紙。凈化工作臺(tái)的過濾器上可能的微量揮發(fā)元素主要來(lái)源于粘結(jié)劑和清洗劑，為芯片廠供貨的過濾器廠商要在這上面下些功夫。
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