手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
掃碼關(guān)注視頻號(hào)
質(zhì)量流量控制器（MFC）是一種用于精確測(cè)量和控制氣體或液體質(zhì)量流量的設(shè)備，其技術(shù)原理融合了熱傳導(dǎo)、質(zhì)量守恒定律、流體力學(xué)及精密傳感技術(shù)，通過(guò)測(cè)量、反饋與調(diào)節(jié)機(jī)制實(shí)現(xiàn)流量的精準(zhǔn)控制。以下是其核心原理的詳細(xì)介紹：
一、核心測(cè)量原理
熱傳導(dǎo)原理：
傳感器部分包含加熱元件和溫度傳感器。當(dāng)氣體流過(guò)傳感器時(shí)，加熱元件將氣體加熱至固定溫度，氣體流動(dòng)會(huì)帶走熱量，導(dǎo)致傳感器溫度變化。
溫度傳感器測(cè)量這一變化，并通過(guò)電橋電路將其轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。電信號(hào)強(qiáng)度與氣體質(zhì)量流量成正比，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的測(cè)量。
質(zhì)量守恒定律：
MFC基于質(zhì)量守恒原理，直接測(cè)量介質(zhì)的質(zhì)量流量，而非體積流量。因此，其測(cè)量結(jié)果不受溫度、壓力等外部條件變化的影響，確保了流量控制的準(zhǔn)確性。
流體力學(xué)原理：
層流質(zhì)量流量控制器通過(guò)層流元件將湍流整流為層流狀態(tài)，利用壓差傳感器檢測(cè)層流元件兩端的壓差信號(hào)。
結(jié)合哈根-泊肅葉定律（在層流狀態(tài)下，體積流量與壓差呈線性關(guān)系），計(jì)算體積流量，并通過(guò)溫度、壓力傳感器實(shí)時(shí)采集工況數(shù)據(jù)，動(dòng)態(tài)修正氣體密度，將工況流量轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量。
二、閉環(huán)控制機(jī)制
信號(hào)轉(zhuǎn)換與比較：
傳感器將測(cè)量到的流量信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，經(jīng)放大器放大后與設(shè)定電壓進(jìn)行比較。
差值信號(hào)被送入控制電路，通過(guò)數(shù)字PID算法計(jì)算控制量，驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)閥門(mén)動(dòng)作。
閥門(mén)調(diào)節(jié)與反饋：
調(diào)節(jié)閥門(mén)根據(jù)控制信號(hào)調(diào)整開(kāi)度，改變通道橫截面積，從而控制氣體流量。
流量變化通過(guò)傳感器實(shí)時(shí)反饋至控制電路，形成閉環(huán)控制系統(tǒng)，確保實(shí)際流量與設(shè)定值一致。
三、關(guān)鍵技術(shù)組件
流量傳感器：
采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法或科里奧利力原理測(cè)量質(zhì)量流量。
傳感器需具備高精度、高穩(wěn)定性和快速響應(yīng)能力，以適應(yīng)不同工況需求。
控制閥：
精密比例調(diào)節(jié)閥或電磁閥，根據(jù)控制信號(hào)精確調(diào)節(jié)開(kāi)度。
閥門(mén)設(shè)計(jì)需考慮零點(diǎn)漂移、量程誤差及耐磨、耐腐蝕性能。
控制器：
集成信號(hào)處理、比較控制及驅(qū)動(dòng)電路，實(shí)現(xiàn)流量信號(hào)的轉(zhuǎn)換、比較與調(diào)節(jié)。
配備數(shù)字顯示、通訊接口及安全保護(hù)功能，支持手動(dòng)設(shè)定或與計(jì)算機(jī)聯(lián)接自動(dòng)控制。
溫度與壓力傳感器：
實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)介質(zhì)溫度與壓力，通過(guò)軟件算法對(duì)氣體密度進(jìn)行動(dòng)態(tài)修正。
消除環(huán)境波動(dòng)對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響，提高流量控制的準(zhǔn)確性。
四、技術(shù)優(yōu)勢(shì)與應(yīng)用
高精度與穩(wěn)定性：
測(cè)量誤差低至±0.5%讀數(shù)，重復(fù)性±0.1%，滿足半導(dǎo)體工藝等嚴(yán)苛場(chǎng)景需求。
閉環(huán)控制系統(tǒng)確保流量穩(wěn)定，即使系統(tǒng)壓力或環(huán)境溫度波動(dòng)，也能保持設(shè)定值。
寬量程與快速響應(yīng)：
量程覆蓋0.1sccm至20000slpm，支持微小流量到高流速場(chǎng)景。
響應(yīng)時(shí)間≤700ms，壓差信號(hào)毫秒級(jí)采集，實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)控制。
多參數(shù)監(jiān)測(cè)與智能控制：
實(shí)時(shí)顯示溫度、壓力、標(biāo)況/工況流量等參數(shù)，支持RS485/Profibus通訊協(xié)議遠(yuǎn)程操作。
內(nèi)置70余種氣體數(shù)據(jù)庫(kù)，支持混合氣體編輯功能，無(wú)需人工輸入轉(zhuǎn)換系數(shù)即可一鍵切換氣體類型。
廣泛應(yīng)用領(lǐng)域：
石油化工、制藥、電子制造、氣體流量控制、化學(xué)制品加工、半導(dǎo)體生產(chǎn)、醫(yī)療設(shè)備、環(huán)保設(shè)備等。
相關(guān)產(chǎn)品
-
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來(lái)源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來(lái)源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來(lái)源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí)，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來(lái)源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問(wèn)題，請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
MFC-S300氮?dú)饬髁靠刂破?/a>
關(guān)注我們
-
化工儀器網(wǎng)APP
-
儀器優(yōu)選APP
Copyright chem17.com All Rights Reserved 法律顧問(wèn)：浙江天冊(cè)律師事務(wù)所 賈熙明律師
-
全年征稿/資訊合作
0571-87759900
點(diǎn)我咨詢 -
微信公眾號(hào)
隨時(shí)掌握行業(yè)動(dòng)態(tài)
采購(gòu)中心
采購(gòu)專員1對(duì)1咨詢